巧妙的是 ，  EUV 其实还是用的 DUV 的光源 ， 只要用 DUV 的光脉冲去连续两次打击液态金属锡 ， 就可以激发出波长更短的 EUV 。

文章图片

并且上述这些操作 ， 可都是纳米级的哈 。
除此之外 ， 光刻机里那些反射 EUV 光线的镜子也大有学问 。

文章图片

那个直径 30 厘米的镜子 ， 用 ASML 的话说：
“ 这可能是宇宙中最平滑的人造结构 ”。
它有多平呢？如果这块镜子有地球那么大 ， 那它不平的地方也就一根头发丝的厚度 。
光刻结束以后 ， 下一步就是刻蚀了 。
光刻只是把电路图印在上面 ， 而工业级的刻蚀等一系列步骤可以把这些电路图垒起来 ， 并让它导电 。
咱先说 UP 主这边 ， 光刻结束以后 ， 他直接掏出一瓶酸开始了他的土 “ 刻蚀 ” 步骤 。

文章图片

但酸刻蚀会刻的相当不均匀 ， 还可能会损坏晶圆体 ， 而且要酸冲蚀好几遍才能弄干净 。
但正儿八经的刻蚀应该是啥样的？
这就得说到专业的刻蚀机了 。

文章图片

工业级刻蚀机的用法 ， 是选择等离子体物理轰炸冲击的技术 ， 在硅晶圆上 “ 炸 ” 出电路图 。
不明白等离子体物理冲击技术也没事 ， 你可以理解成盖房子打地基的过程 。

文章图片

跟光刻机一样 ， 我也给大家举几个刻蚀机的技术难点 。
比如等离子体在冲击轰炸晶圆的时候 ， 会有极少部分的合成物颗粒落在晶圆上 。
而这个仅有 20nm 的颗粒 ， 有可能破坏掉晶圆甚至让芯片直接报废 。
如果我们以加工 5nm 制程芯片为例 ， 一片 12 寸的晶圆上 ， 直径大于 20nm 的颗粒不能超过两个 。
这相当于在全国土地面积排名第四的青海省 72.23 万平方公里上 ， 只能允许 2 粒葡萄大小的颗粒 。

文章图片

除了上述的颗粒控制以外 ， 一台合格的刻蚀机还需要解决均匀性控制、磁场控制等难题 。
刻蚀完以后 ， 就是一遍遍的复刻封装了 。
UP 主这边刻蚀完以后 ， 经过一系列抛光打磨 ， 直接就拿出来一个成品的硅晶圆 ， 然后再把它切割一下 ， 就直接 “ 装机 ” 使用了 。

文章图片

手搓 CPU 也就宣告结束了 。
但正规的芯片工艺可没他这么简单 。
工业级的刻蚀完以后 ， 再通过不断重复上述铺光刻胶、光刻和刻蚀等步骤 ， 硅晶圆的上的晶体管就会被一层一层搭建起来 ， 就像是打完地基一步步的在上面盖起房子的过程 。

• vision|自动驾驶技术影响深远 石头G10黑科技也有其身影
• 华为|搬起石头砸自己的脚，因移除华为设备，美国电信运营商：亏惨了
• 家乐福|网购苹果新机，却收到一块石头？家乐福赔了9570元！
• 渔民|渔民捡到一块石头，竟镶嵌2.5亿年前“芯片”，史前高等文明真的存在？
• 苹果|知名演员网购苹果产品，开箱后傻眼：Apple Watch变石头
• 石头科技|国产扫地机走红法国黑五期间GMV同比暴涨767.2%
• 澳大利亚|搬起石头砸自己的脚！美方拆除华为设备，任正非：拆掉就断网！
• CPU|都是什么年代了，卖电脑还敢这么坑人，这不是搬石头砸自己的脚？
• 极客之选年度产品丨年度家居清洁装备：石头智能双刷洗地机 U10
• 联发科|联发科提价搬起石头砸自己的脚，出货量大跌，或被高通反超