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中新社合肥7月15日电(采访人员赵强)安徽省合肥市人民政府15日宣布，合微项目于当日正式量产，这是国内首家建立并量产的12英寸晶圆回收工厂。
所谓“晶圆再生”，是指去除控损挡板表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新晶圆的标准，实现其循环利用，进而为企业节约大量成本。
据介绍，合微项目总投资近10亿元(人民币，下同)，于2020年3月正式开工，2020年12月项目设备基本投入试运行。2021年3月进入试生产阶段，6月进入量产阶段。
合肥量产的这个晶圆回收项目是基于14 nm晶圆厂对回收晶圆的需求，是国内第一条服务于高端半导体市场的12英寸晶圆回收线。项目全面投产后，每年可再生晶圆168万片，清洗零部件120万个，年产值6亿多元。
据了解，在此之前，中国的高等级晶圆回收需求都要送到日本、中国台湾省等地进行加工。随着微型项目的量产，合肥将成为满足晶圆再生需求的重要基地。
经过多年的发展，合肥已经成为中国国内集成电路产业发展最快、成就最显著的城市之一。目前拥有集成电路企业300余家，员工2万余人，泾河集集、通富微电子等一批行业领军企业已成为国内少有的拥有集成电路设计、制造、封装测试、设备材料全产业链的城市。
合微项目的成功量产，将成为国内最早具备12英寸晶圆再生和关键设备零部件再生能力的项目之一，为合肥集成电路产业链增添重要一环，为产业高质量发展注入新动力。(结束)
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