光刻机|美国万万没料到,中国光刻机后发制人!自主研发取得重大突破

光刻机|美国万万没料到,中国光刻机后发制人!自主研发取得重大突破

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光刻机|美国万万没料到,中国光刻机后发制人!自主研发取得重大突破

众所周知 , 为了遏制中国崛起 , 美国在多个领域对华进行打压 。 而在科技方面 , 美国更是加紧了对中国的技术封锁 。 尤其是芯片领域 , 美国为了不让中国获得先进的芯片 , 无所不用其极 。
在这场没有硝烟的芯片战役中 , 中国在芯片领域暴露了很多短板 。 然而 , 艰难的处境 , 吓不倒中国科研人员和相关企业 。 在他们的不懈努力下 , 中国在芯片领域取得了多项成就 。 这使得中国在芯片项目上 , 拥有了自己的技术 。 现在 , 中芯科技在14纳米芯片的制造能力上 , 已经完全达到了世界先进水平 。 这对中国而言 , 是一个非常好的消息 。 但分析人士表示 , 如果中国要在芯片领域实现真正的自主 , 必须要在高端芯片拥有一定地位 。 想要达成这个目标 , 中国必须自主研发出EUV光刻机 。

然而 , EUV光刻机对中国的芯片发展如此重要 , 中国却迟迟没有实现自主研发制造 , 这是为何?制造一台EUC光刻机 , 真的这么困难?
事实上 , 中国离自主研发EUV光刻机 , 只差最后一步了!荷兰光刻机巨头阿斯麦公司的CEO曾经表示 , 即使中国得到了EUV光刻机的图纸 , 也不可能制造出来光刻机 。 显然 , 阿斯麦对自己的技术非常自信 , 认为中国绝不可能掌握 。 这种言论 , 确实让很多中国网民非常气愤 。 然而 , 这也反映了一个问题 , 那就是光刻机的制造 , 非常困难 , 绝非易事 。 否则 , 阿斯麦公司是没有这番底气说出如此大言不惭的言论 。
但是 , 很多事实已经证明一个道理 , 那就是言论放得越狠 , 脸被打得越肿 。 中国的科研人员 , 已经根据EUV光刻机的零部件作用 , 将其分为三层进行科研攻关 。 这三层内容 , 分别为双工件台、EUV光源和EUV光学镜头 , 这是现在世界最先进的高端EUV光刻机最重要的三个部件 。
目前 , 中国科研人员已经成功实现了EUV光源的技术突破 , 制造出可以用在EUV光刻机上的EUV光源 。
在EUV光源上 , 阿斯曼公司最常用的技术 , 来自美国和德国 。 在这项领域上 , 荷兰、德国、美国一直有技术交流 , 并对中国进行技术封锁 。 因此 , EUV光源的技术 , 长期以来对中国都是难点 。 然而 , 任何艰难困苦 , 都难不倒中国 。
央视新闻报道 , 国家发展和改革委员会已经立项进行支持 , 并由中科院高能物理研究所承建 , 中国首台高能同步辐射光源科研设备已经安装完毕 。 这台中国自主研发的高能光源 , 已经达到了世界最先进的第四代同步辐射光源水平 。
这意味着中国在EUV光刻机的三大核心部件上 , 取得了光源领域的自主研发突破!在EUV光源上 , 中国彻底完成了全部国产化的过程 。 随后 , 中国自己的辐射光源技术 , 将被运用到更加广阔的应用场景中 。
分析人士表示 , 作为复杂的先进设备 , EUV光刻机的内部零件有10多万颗之多 , 可见其制造流程非常地复杂 。 但作为EUV光刻机的核心技术之一 , 光源技术必不可少 。 在这个技术领域 , 虽然荷兰阿斯曼公司是全球光刻机领军者 , 但他们在光刻机制造上有很多技术来源于进口 。 阿斯曼的EUV光刻机 , 近九成技术都是从国外进攻 , 其中将近三成的光源技术是由美国提供的 。 显而易见 , 美国在EUV光刻机中掌控的核心技术比例很大 。 因此 , 美国的对华芯片禁令 , 对阿斯曼公司对华出口EUV光刻机影响很大 。 即使中国企业和阿斯曼公司达成协议 , 并且支付了采购款 。 但阿斯曼的光刻机一直停留在荷兰港口 , 始终无法向中国供货 。 因为在美国的法规中 , 只要产品中含有来自美国的技术 , 其出口贸易必须得到美国人的同意才可以进行 。