设备|货殖列传丨弥费科技缪峰:做半导体时代的“淘金铲子”( 二 )
AMHS是一套庞大的系统,但它不像半导体工艺制程设备那样需要5年、10年才能完成全部验证。缪峰的经验是,“当你一口气吃不下那么多的时候,可以从一个设备开始分阶段开发,最后把所有产品组合起来,完成一整套AMHS交付给晶圆厂。”
地面移动机器人是弥费科技迈出的第一步。国外半导体设备巨头在AMHS领域已有20多年的积淀和发展,近几年,由于人力资源紧张,晶圆厂对良率要求越来越高,像地面移动机器人这样的地面传输系统需求凸显,新增市场使得国内外供应商几乎站在同一起跑线。
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“本土的半导体设备生产供应商如果有一些突破,在这个领域可以比较快地打开市场。”缪峰说,通常12英寸晶圆厂一套完整的AMHS占晶圆厂固定投资的3%左右,一座超大规模量产的半导体工厂AMHS就需要投资数千万美元甚至数亿美元。弥费科技的加入意味着在中国市场有了第三个玩家参与游戏,而国内晶圆厂头部企业也开始给国产半导体设备厂商更多机会。
调度晶圆厂里的“交通”
晶圆制造是世界上最复杂的制造业之一。一片晶圆要在几百台设备间流转,数十次重入同类型的加工设备,经过成百上千道工序,其复杂程度,甚至超过大都市的公共交通系统。
晶圆厂对洁净度等级要求也极度严苛。洁净室里产生最大污染的是人,如果减少人的活动,势必对产品良率带来提升。
相比机器,人力搬运物料效率也更低,“我们以前在晶圆厂里都干过,交接班或吃中饭的时候,设备稼动率明显下降,但机器人不会存在这个问题,只要有电,它就一直在执行搬运任务。”
【 设备|货殖列传丨弥费科技缪峰:做半导体时代的“淘金铲子”】AMHS的出现就是要保证每一片晶圆的每一个流程正确,最大限度利用生产设备,减少空置状态,提升产品良率。
OHT是晶圆厂空中传输的主要设备,一辆无人搬送车运送一盒晶圆,沿着空中轨道一辆接着一辆密集穿梭,执行搬运和传送任务,自主移动机器人行走在工厂走道,智能存储晶圆设备记录着每一批货物的位置。
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弥费科技正在开发的天车OHT即将进入某晶圆厂进行设备验证,而软件调度系统是控制整个晶圆厂自动化物料搬运系统的核心软件。
去年,弥费科技和华中科技大学成立AI算法研究室,将AI算法引入半导体调度系统,研究传送任务排序和传送路径的优化,以此提高晶圆厂生产效率。
晶圆制造的复杂流程带来庞大数据量。弥费科技找到国内某12英寸晶圆厂,利用这家晶圆厂过去10年的生产数据推算出现有系统传送任务的排序和传送路径的选择。
缪峰认为,自动化物料搬运系统的未来还是在于调度系统。以前需要100辆传送小车才能完成的事,未来能否用80辆就能完成?调度系统的核心算法是最主要的突破口。
“AI算法是可以不断迭代的,和友商在硬件差不多的情况下,软件和算法层面可以不断优化,AMHS的灵魂可以不断升级。”过去二三十年形成的技术已经稳定,但也意味着缺乏进一步突破的动力。而提升整个系统的效率,他认为这是未来从事这个专业的人需要思考的。
晶圆厂在盖,机会就在
当前,全球缺芯现象愈演愈烈,半导体行业产能紧张。晶圆代工厂订单饱满,代工价格上涨。产能扩张之下,半导体设备获得发展良机。晶圆厂大规模新建产能,直接利好上游半导体设备行业。
国际半导体产业协会SEMI报告显示,全球半导体制造商将在今年年底前开始建设19座新的高产能晶圆厂,并在2022年再开工建设10座,以满足市场对芯片的加速需求。未来几年,这29座晶圆厂的设备支出预计将超1400亿美元。
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