东德|ASML为何不敢放肆?没有这家德国公司,它一台光刻机都造不出来( 三 )


在接下来的几年里,他们继续对设计进行五次改进,在2015年,第一个全场uv光学系统star,list,310,被交付给ASML使用,star,list是一个多组件系统,由采集器光学元件和光圈照明光学元件,激进和投影光学元件组成,首先,来自紫外光源的光线打到收集器上,收集器收集后通过中焦的光圈,将光线投射到照明器上,照明器将光线均匀地散开,被均匀照亮的光线反射到包含冰片设计的矩形上,最后投射到晶圆上,3100开创了光学系统的先河,其核心机制后来进一步得到了完善,如star,list,3300,3400,今天,它成为了在七纳米,或更低的工艺节点中的一个关键部分。
卡尔-蔡司拥有许多其他部门,参与了许多事情,在这个视频中,我只关注半导体制造所涉及的方面,但其他方面的设想也非常值得研究,在2020年,半导体部门的收入为18亿欧元。,同比增长了12%,而集团其他部门由于大流行病的影响,收入有所下降,今天,它贡献了集团业务的30%,在德国工业中具有关键的战略意义,该集团独特的所有权结构,以一种不常见的方式将其与社区联系起来,作为与ASML一起的重要战略伙伴,该公司基本上是唯一的同类企业,日本的尼康和佳能是ASML最接近的竞争对手,为他们的光刻设备制造自己的光学系统,不过,显然如今还无法和蔡司相比。