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ASML着急原因找到了?港城大突破核心技术 , 助力国产EUV光刻机!
自从芯片限制启动开始 , 国内的半导体产业发展 , 就不能再指望美技术体系了 , 在老美的步步紧逼下 , 使用了含美技术的国际企业相继沦为“棋子” , 就连拥有顶级技术的台积电、ASML也未能幸免 。
老美目前有意升级DUV光刻机的限制 , 正在想方设法对ASML施压 , 要求其中断供应中国市场 , 但这一次ASML并没有妥协 , 在态度上异常的强硬 , 并没有放弃布局中国市场 , 很多人都好奇其中的缘由 。
光刻机作为打破封锁的关键 , 除了中科院之外 , 各大高校研究所也进行了深入研究 , 近期香港城市大学的团队研发出了新型超构透镜 , 让国产EUV光刻机的诞生又近了一步 , 这是ASML着急的原因吗?
光刻机核心技术迎来突破在意识到国内芯片困境之后 , 来自港城大的电机工程系教授蔡定平团队 , 一直聚焦于相关技术的研发 , 而此次团队研发的新型真空紫外光超构透镜 , 可被用于半导体制作、光化学、材料科学等等高端领域 。
名为《真空紫外非线性超构透镜》的论文 , 已经被发表在了Science Advances 上 , 其中提出了具有发展前景的新方法 , 基于介电超构表面的新型真空紫外光子器件将会成为后续研发重心 。
而这款新型的非线性超构透镜 , 可以同时产生、聚焦45微米直径的真空紫外光 , 借助二次谐波产生过程 , 可以将394纳米的紫外光转化成真空紫外光 , 并且波长降低为194纳米 , 通过一些列的步骤可实现光斑直径小于 200 万分之 1 米 , 聚焦光点的功率密度提升21倍不止 。
而传统的真空紫外器件 , 有着系统体积大、材料吸收强等等一系列问题 , 在使用上全新的透镜之后 , 这些问题得到了
而光刻机的制造最主要的三大系统 , 分别为光学系统、光学镜头和双工作台系统 , 在港城大突破光学镜头工艺之后 , 意味着这三大核心技术 , 国内均已经实现了相应的突破 , 距离EUV光刻机的国产化又近了一步 。
但短期之内实现国产化还是有点困难 , 一台EUV光刻机所需要用到的零部件高达10万个 , 需要高度依赖于全球供应链 , 即便是ASML也有超过80%的零部件需要来自二十多个国家供应 , 名副其实的“组装厂”!
目前国内企业只是聚焦于 , 被老美垄断的核心技术攻克 , 但显然光有这些技术是不够的 , 如果得不到国际供应链的支持 , 要完成数十万零部件的国产化也不现实 , 因此3-5年内是难以实现EUV光刻机的国产化 。
ASML开始着急了虽然我们暂时还无法制造出EUV光刻机 , 但核心技术的不断突破 , 显然已经给ASML造成了很大的压力 , 毕竟这三大核心技术 , 其也要依赖于国际供应链 , 如果连这么难的技术都被国内突破了 , 那么相对简单的技术只要有足够的时间 , 实现攻克自然是没有问题的 。
而此次港城大突破的正是光学镜头技术 , 此前光源技术、双工件台都已经被国内研究所攻克 , 充分证实了越是限制 , 越是会加速技术研发进程 , 因此在老美打算加速进一步限制DUV光刻机时 , ASML只能选择反抗 。
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