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芯片制造的工序步骤是非常复杂的 , 每一个流程基本上都需要各式各样的半导体设备 。 芯片光刻需要用上光刻机 , 刻蚀步骤需要用上刻蚀机 。
国内有的半导体设备还在加紧研发中 , 而有的设备已经实现了突破 。 比如有一家中企聚焦CMP设备 , 取得了国际领先的技术水准 , 打破集成电路卡脖子技术 。
问题在于 , CMP设备是什么?国产CMP设备进展如何呢?
01中企攻克CMP设备
制造业是基础 , 而芯片制造更是科技发展的生态底座 。 如果没有芯片制造产业的支持 , 全球大部分的行业都会陷入停摆 。 由此可见 , 芯片制造有多么重要 。
在这背后 , 也有着远超想象的难度 。 芯片制造的原理可以用几百个字总结完毕 , 然而实施起来却不是那么容易的 , 尤其是需要用上几十种不同的半导体设备 。
大部分人只知道制造芯片时需要用上光刻机 , 刻蚀机 , 再深入一点还能了解离子注入机 , 清洗机等等细分领域的设备 。 其中中国电科旗下附属装备集团攻克了28nm离子注入机技术 , 实现全谱系覆盖 。
不管这些设备价值如何 , 都是芯片制造不可或缺的一部分 。 我国在光刻机领域还有很大的进步空间 , 但是在其它的设备领域 , 却已经有了不小的积累 , 比如面向抛光生产步骤的CMP设备 , 就实现了全球领先 。
8月18日 , 杭州众硅电子科技有限公司(简称众硅科技)重磅发布了众硅TTAIS 300 , 这是国际领先具有6抛光盘的CMP设备 。
不仅做到了国际领先 , 而且在CMP设备行业 , 能做到6抛光盘的目前也只有众硅科技能做到了 , 也就是说 , 众硅TTAIS 300这款产品属于全球首发 , 其意义非常重大 。
02CMP设备有多重要?
看到这里 , 估计许多人会感到疑惑 , 什么是CMP设备 , 这款设备有多重要?
其实所谓的CMP设备也叫作化学机械平坦化 , 从字面意思就能理解 , 是帮助产品进行表面平整加工 , 抛光处理的 。 但因为是用在半导体领域 , 所以CMP设备对于技术的要求非常高 。 除了要完成平整化处理 , 也必须保证足够的产出效率 。
而CMP设备的重要性决定了晶圆是否能保障光刻 , 刻蚀效果 。 通过CMP设备对晶圆表面进行抛光作业 , 给光刻机提供良好的曝光平台 , 承载光刻胶的化学反应 , 以及刻蚀机的雕刻精度 。
这些重要的光刻步骤都建立在CMP设备上完成 。 在纳米级别的抛光工艺中 , 任何一个细微的凹凸都有可能影响芯片制造的失败 。 因此能做到先进制程的CMP设备 , 其研发难度是非常大的 。
CMP设备一直被国外供应商垄断 , 欧美国家持有CMP设备核心技术 , 想要获得高端CMP设备的供应 , 基本上只能靠进口 。 长此以往可不是什么好事 , 尤其是美国这些年频频对半导体搞小动作 。
好在中企未雨绸缪 , 众硅科技自2018年成立以来 , 就定下了研发高端CMP设备的目标 , 如今发布的6抛光盘设备证明众硅科技的目标已经完成 , 为国内打破集成电路卡脖子技术迈出重要一步 。
那么众硅科技的TTAIS 300产品有怎样的表现呢?根据官方公布的信息显示 , TTAIS 300是全球唯一能实现多工艺兼容的CMP设备 , 既能做2个抛光盘 , 也能做3个 。 相比国际主流的CMP设备 , 产出效率提高了20%到60% , 具有效率高 , 成本低的优势 。
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