光刻机|传中国研发成功国产28纳米光刻机,实际是搞乌龙了
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近日有传言称中芯国际全国产28纳米产线已经量产 , 为华为代工的芯片也已经流片成功 这可能吗?首先中芯国际有28纳米生产线 , 都基本都是美国或者其它国家的半导体生产设备 , 这肯定受制于人 , 所以纯国产的28纳米生产线当然好 , 其中最重要的是光刻机 。
其次按照上述传言的说法 , 那就是中国研发成功了28纳米光刻机 , 实际当然不是如此 , 中国光刻机技术最强的上海微电子 , 目前只研发出90纳米的光刻机 , 一直想研发制造28纳米芯片的光刻机 , 预计2021年会交货 , 但最起码2022年才能在芯片厂达成量产 。 即便如此上海微电子的这个光刻机技术也不能完全“去美”化 。
但为何会有中国研发成功28纳米光刻机的传言呢?是因为最近有另外一个传言 , 即中国最大电子企业集团公司之一、中国电科推出了28纳米离子注入机 , 名称像是针对28纳米生产的 , 但离子注入机和光刻机还不是一回事 。 决定芯片良品率高低的因素有很多 , 最重要的光刻机 , 而光刻机的一个环节又是离子注入环节 , 而在离子注入环节中担任“总指挥”的是离子注入机 。
【光刻机|传中国研发成功国产28纳米光刻机,实际是搞乌龙了】
离子注入机在芯片制造过程中主要负责对芯片进行电离子改造 , 按照预定方式改变材料的电性能 。 在光刻机对芯片进行曝光生产前 , 离子注入机对硅片进行不同元素掺杂 , 能够提高芯片的集成度、良品率和寿命 。 简单来说离子注入机在芯片制程中起到了优化硅片、提高芯片性能的作用 。
我国以前在离子注入机技术方面也很差 , 这就对光刻机的研发有很大制约 , 所以搞定了28纳米离子注入机技术 , 对研发28纳米光刻机有利 , 但不能等同于光刻机 。 一个光刻机最起码几万个零部件 , 据悉离子注入机技术只占光刻机技术的3%左右 。
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