光刻机|央视“点名”EUV光刻机,中科院自研设备落地,外媒:闹剧结束

光刻机|央视“点名”EUV光刻机,中科院自研设备落地,外媒:闹剧结束

文章图片

光刻机|央视“点名”EUV光刻机,中科院自研设备落地,外媒:闹剧结束

文章图片

光刻机|央视“点名”EUV光刻机,中科院自研设备落地,外媒:闹剧结束

EUV光刻机是高端芯片产线上不可或缺的制造设备 , 全球只有荷兰光刻巨头ASML能生产 , 但其产线上却含有超过20%的美国技术与配件 , 受美“出口管制规则”的约束 , ASML始终都无法出口给我们该设备 。
若想冲破西方的芯片封锁 , 摆在我们面前的只有一条路可走 , 那就是:打破垄断 , 实现EUV光刻机的国产化 。 为此 , 中科院、清北高校等科研机构纷纷入局光刻领域 , 展开核心技术的自主研发 。

然而 , 没想到的是 , ASML对我们自研EUV居然不屑一顾 , 而且还泼来冷水:即便给中国完整的设计图纸 , 他们也无法造出EUV , 甚至连“山寨”也做不到 。
吴汉明专家也有类似的观点:EUV光刻机单台价值高达1.2亿美元 , 重达180吨 , 需要40多个集装箱才能运输 , 糅合了美国光源、德国蔡司镜头、瑞士数控机床等多项顶尖技术 , 而且精密零件超过10万个 , 超过5千家的供应商遍及世界各地 , 是全球智慧的结晶 , 仅凭我们一己之力来制造 , 显然是不现实的 。
不可否认 , EUV设备相比芯片制造产线上其他设备会更加复杂 , 但说到底它毕竟也是人造的 , 何况 , 在老美毫无底线的打压下 , 国产半导体哪还有“知难而退”的余地 。

面对外界的不看好 , 中科院偏不信邪 , 并立下“军令状” , 集中优势力量成立了EUV专项技术攻关科研小组 , 誓要在最短的时间内实现破冰 。
在中国科学家们的不懈努力之下 , 这段时间 , 国内市场也不断传出着有关EUV技术突破的好消息 , 那么现阶段国产EUV的研发究竟进展到哪一步了呢?

据央视报道 , 国产EUV的核心技术问题基本已经解决 , 由中科院自主研发的国内首台高能光源设备 , 安装工作已完成了超过80%、落地在即 。 另外 , 中科科美实现了高端镀膜装置的全谱系国产化 , 包括直线式劳埃透镜与纳米聚焦两款顶尖装置 , 且均已投入使用 , 为国产光学镜头的量产提供了可靠的技术支撑 。
至此 , EUV三大核心技术:“双工件台系统、光源、光学镜头”均已打破海外垄断 。
这就是中国科学家们技术攻坚的实力和毅力!要知道EUV被誉为工业之花 , 美国科学家曾为了调试其中的一个部件 , 花费了十年的时间 , 其难度不言而喻 , 这或许就是ASML不看好我们自研EUV的主要原因 , 但没想到打脸会来的这么快 。

虽然EUV设备还有许多精密零件需要突破 , 但相比核心技术 , 这对于有“世界工厂”之称的中国制造市场而言 , 却容易多了 。
跨过了EUV设备这块“绊脚石” , “中国芯”将自此打通“任督二脉” , 下一步就是大规模的实现量产 , 冲击高端芯片市场 。
目睹我国科学家在EUV核心技术上的突破 , 一向“马后炮”的外媒也给予了中肯的评价:早有预料 , 芯片断供只会适得其反 , 不卖给中国芯片 , 只会加大他们自给自足的步伐 , 现在闹剧结束 , 扰乱全球芯片产业平衡的芯片禁令也该画上句号了 。

但事实上 , 芯片禁令带来的蝴蝶效应还远没有结束 。
【光刻机|央视“点名”EUV光刻机,中科院自研设备落地,外媒:闹剧结束】不难推测 , 在国产EUV落地之后 , 物美价廉的国产芯片将迅速销往全球各地 , 而以出口为主的美国高价芯片 , 或许烂大街都不会再有人要了 , 对滥用科技霸权的美国来说 , 这样的代价只能是它自己咎由自取!