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8月8日消息 , 据新浪科技爆料称 , 中芯国际于北京新建的12英寸晶圆厂(中芯京城)的“CIM国产化项目”于近期被迫暂停 , 原因是该项目技术承包方——上扬软件(上海)有限公司(以下简称“上扬软件”)无法完成中芯国际的半导体CIM软件国产化需求 , 最终导致项目暂停 。 对此 , 上扬软件相关负责人予以了否认 。
△中芯京城一期项目
新浪科技的报道称 , 上扬软件为配合中芯国际北京12英寸晶圆厂“CIM国产化项目”在北京设立了研发中心 , 累计投入了超过100人的研发团队 , 研发周期已近一年的时间 , 但在中芯国际IT部门经过多评估之后 , 判定其无法完成该项目 , 最终该项目被暂停 。 上扬软件负责该项目的研发团队也已撤离或离职 , 甚至该项目负责人上扬软件的CTO许明光也已经提交了离职申请 。随后 , 上扬软件相关负责人对于该传闻回应称:“中芯国际北京项目并未暂停 , 上扬团队仍然在为其进行软件开发 , 由于疫情反复 , 项目由集中开发改为远程开发 , 这样的方式既能解决疫情对晶圆厂的影响 , 也能提高效率完成客户的开发需求 。 ”
此外 , 该该负责人还表示 , 目前项目负责人及团队稳定 , 相关项目人员并未出现离职现象 , 且仍坚守岗位 , 为该项目尽心尽责 。 上扬软件是国内最早研发半导体MES的厂商 , 也是国内少数从事12寸半导体MES系统国产化的厂商 。 对于这样的抹黑行为 , 上扬软件的高层表示非常震惊 。 上扬软件将保留追究法律责任的权利 。
资料显示 , CIM(Computer Integrated Manu-facturing , 计算机集成制造)是部署在半导体晶圆制造及先进封测工厂内部的生命级软件系统 , 其作用急速用计算机软件把整个制造过程集成在一起 。 CIM由制造系统由制造执行系统(MES)、统计过程控制系统(SPC)、设备自动化方案(EAP)、配方管理系统(RMS)、良率管理系统(YMS)、实时调度排产系统(APS)等数十种软件系统组成 。
12英寸半导体产线的生产过程极为复杂 , 涉及到的设备也是非常之多 。 以中芯国际天津T3集成电路生产线项目为例对成熟制程12英寸产线为例 , 这条90nm制程的12英寸产线 , 每1万片产能所需的主要设备数量约为高温、氧化、退火设备22台 , CVD 42台 , 涂胶/去胶设备15台 , 光刻机8台 , 刻蚀设备25台 , 离子注入设备13台 , 物理气相沉积设备24台 , 研磨抛光设备12台 , 清洗设备17台 , 检测设备50台 , 测试设备33台 , 其他设备17台 。 如果产能达到4万片 , 所需的设备就将超过上千台 。
如此之多的不同类型的设备 , 都需要用一套软件来管控, 包括产品控制、工艺控制、工艺管理等 。 一千多步流程 , 上千台设备 , 几千种产品在一起“混跑”的情况下 , 还要保证生产线高效的运行 , 这显然是难度极高 。
另外 , 在12英寸产线中 , 生产工序甚至可以达到上千步 。 因此每片晶圆在生产过程中会产生非常庞大的数据 , 其数据量级也随着制程先进程度而快速增长 。 根据应用材料的数据 , 45nm晶圆厂每年的数据量在50TB左右 , 而28nm晶圆厂年均数据量可以达到80TB , 14nm晶圆厂每年的数据量则为141TB 。
上扬软件董事长、CEO吕凌志也曾透露 , 一片12英寸的晶圆的制造过程能够产生10G以上的数据 , 月产3万片的产线每月数据量超过30万G 。
因此 , CIM系统还需要具备对这些数据进行分析和处理的能力 , 才能实现更稳定、高效的生产管理 。
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