光刻机|世界最赚钱的机器 11亿一台 中国怎么造不出来?( 二 )


斯密特虽然是一位拥有博士学位的工程师,但他的雄心壮志更在于管理、战略、制定路线、赢得胜利 。贾特·斯密特从不在乎花多少钱,他只要最高水准 。也正是这一特质使ASML后来得以用超前水准的产品征服整个光刻机行业 。
创业的路总是很残酷 。ASML初创时期,几十个员工挤在飞利浦门口的简易板房里办公,门口就是一排臭气熏天的垃圾桶 。除了“因为被选入ASML而对前途不抱希望”的47名飞利浦员工和1名ASM员工,17台无法出售的光刻机,0%的市场份额和空空的存款,什么都没有,买杯咖啡都会破产 。
ASML在缺钱——动不动缺一亿美元,缺人——高精尖技术没人能掌握,缺客户——没人愿意买产品,缺时机——整个半导体行业都陷入颓势,缺时间——赶着交不出货中艰难求生 。首席执行官斯密特只能不断给员工“画饼”,虽然我们现在还没有产品上市,但我们一定会成功的 。
斯密特也同样善于营销 。ASML想打入美国市场,斯密特知道,参与这场游戏必须按美国人的规则,要用一次壮观的、有冲击力的、声势浩大的宣传树立形象 。于是他的广告标题是“ASML 展示的产能让 GCA 和尼康都不敢看” 。
斯密特的管理智慧是,他希望公司成为一个统一的整体,不是演奏钢琴或小提琴,而是指挥一场交响乐;不是迈克尔·乔丹,而是整个芝加哥公牛队 。
ASML创造奇迹的时刻终于来了!20世纪90年代,整个半导体行业遇到了一个共同的难题 。——光刻机光源的波长没法再短于193nm了,这可怎么办?
面对难题,老巨头尼康等厂商依然采用传统解题方法,强行将光源缩短到157nm波长 。另一边,台积电鬼才林本坚提出了浸润式光刻 。
在镜头和光刻胶之间加一层水,经过水的折射,天堑一跃而过,光线波长可以由193nm变为132nm 。林本坚拿着这项“沉浸式光刻”方案,跑遍美国、德国、日本等国,游说各家半导体巨头,但都吃了闭门羹 。
当时还是小角色的ASML决定赌一把,押注浸润式技术更有可能以小博大 。于是和林本坚一拍即合,仅用一年时间,就在2004年拼全力赶出了第一台浸润式光刻机样机,并先后夺下IBM和台积电等大客户的订单 。
命运总是嘉奖勇敢者 。2007年,ASML拿到了60%的光刻机市场份额,首次超过尼康 。2015年,第一台可量产的EUV样机正式发布 。
有一个形象的比喻来表示光刻机光源产生极紫外光EUV的难度——在飓风中心,以每秒5万次的频率用乒乓球击中同一只苍蝇两次 。制作一颗芯片大概需要3000道工序,要想保证光刻机完美运转,每一步的成功率都要高于99.99% 。
可以说,EUV光刻机几乎逼近当前物理学、材料学以及精密制造的极限 。
想要浇灌出这株盛放在荷兰的技术之花,既需要德国的光学设备与超精密仪器,也需要美国的计量设备与光源 。托举起如今的阿斯麦的,是整个西方最先进的工业体系 。
对于ASML来说,这些都是已经创出一番天地后的故事,而不为人所知的那段在“练习室”里死磕的时光,如何从“练习室走向台前”的坎坷经历,才真正隐藏着崛起的密码 。
ASML首部传记《光刻巨人:ASML崛起之路》作者瑞尼·雷吉梅克说,这个世界上可能不会有公司能在未来十年中获得类似ASML这样的成功,除非奇迹发生 。
在他看来,与其复制一个ASML,不如发挥创造力,将研究资金投入到将击败传统光刻技术的未来技术中 。
当年的尼康复制了GCA的步进光刻机,还增强了机器可靠性 。但照搬总是落后,尤其是前面有一个表现出色的胜利者 。探索新技术可能会更有回报 。