光刻机|俄罗斯是如何解决光刻机问题？芯片|it芯片

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有人说俄罗斯是如何解决光刻机问题呢？其实2020至2021年9月份，俄整个电子工业只得到2660亿卢布拨款，一座28纳米生产线和配套晶圆厂至少也要投资上万亿卢布，即便投入这么大一笔费用，俄国内市场是否能够提供足够订单维持其运转呢？

其实这条路线就走错了，换作花1/50的钱，搞一条适合中小批量生产的无掩膜光刻生产线，那制程问题也解决了，足够满足国内订单。

现代无掩膜直写已经可以用来支持中小批量生产了（采用多束平行电子束提升生产效率）。目前投入工业化生产的就有日本的minifab方案（俄泽列诺格勒中心也计划参与新一代minifab的技术研发）。大型生产线伴随工艺制成升级所需的投资越来越高，除了少数每年有几亿片需求的芯片（例如手机生产商订货），大部分芯片年需求只有百万至多千万级别，这种批量下使用无掩膜直写式光刻的成本反而会比传统掩模光刻便宜，而且供货周期更短。与此同时，像俄罗斯和欧洲一些国家，国内市场有限，专门花上百亿美元投资大型工厂生产每年只有几百万需求的芯片，计划在论证阶段就会被毙了，不可能获得通过。可一旦卡在这上面，国内相关产业就难以完成技术迭代（全球订单也就只够养活那么几家代工厂），这种情况下，适用于多品种小批量的无掩模光刻成了最优解。 【光刻机|俄罗斯是如何解决光刻机问题？】

这项技术的发展潜力其实比传统的掩膜光刻要大得多。光刻机、芯片制造从来不是自古华山一条道，解决不同需求有不同的技术路径，例如大批量生产方面压印法也是比较有发展前景的工艺。

打个不恰当的比方，现在EUV这样的掩膜光刻机，就好比用冲压模具大批量造锅，有人看到冲床冲出锅来，就问如果没有模具和冲床能不能造锅呢？答案当然是能造，不然模具是哪儿来的呢？模具不就是拿整块料放到机床上抠出来的么？用同样的方法也能抠出锅来。只不过这样造锅的效率太低，成本太高，造出来一般人用不起。同样的道理，造芯片的模具就是掩膜，加工掩膜图形的“机床”是电子束直写光刻机，用电子束直写也能直接在晶圆上“扣”出芯片。跟机械制造业一样，以往大批量生产采用各种模具，但随着数控机床加工效率的提升，切削加工在多品种小批量生产上的优势就越来越明显。例如我试制几个样品，或者小批量生产几百个零件，有机床就能自己干，没必找厂家去开模具，再拿去冲压件厂订货。