ASML没想到，上海微电子成功扳回一局近段时间

近段时间，国内多个晶圆厂陆续公布了芯片制造设备招标情况。其中，令人欣慰的是采购的设备多为国产。可见，国产芯片制造设备水平上来了，很多已实现国产替代。
这充分说明，国内芯片产业链的上游设备环节取得了不小进步。因为近几年频繁制裁限制，让我们明白了国产替代的重要性。但也有意外情况出现，不过成功扳回一局。

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上海微电子成功中标
最近的招标动作中，上海积塔半导体的动作不小，连续进行了几次招标。其中， 5月10日这次格外受关注，中标的企业不仅包括北方华创、拓荆科技、芯源微等中企。
还有光刻机巨头ASML ，重点是一共3台光刻机，全部为ASML中标。可能大家会说， ASML是全球光刻机领域技术最先进的厂商，但这3台光刻机并不是高端的。
而是1台KrF光刻机、2台i-line光刻机，问题是这些型号的上海微电子也能做。

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为此，有不少分析者表示国产光刻机颗粒无收。但这种说法稍微有点片面了，这只是其中一次招标而已，再者说这是公开招标的，当然可自由投标了， ASML也不例外。
这并不是为ASML开脱，也不是上海积塔半导体不支持国产。 ASML连低水平的光刻机也不放过，其实正说明ASML还非常重视国内市场，即使低端产品也在争取。
从招标设备情况看，积塔半导体是非常支持国产的，因为中标的大多数设备为国产。

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光刻机没有选择国产的，可能因为国产光刻机在技术成熟度、产品良率或价格等方面还有差距。也可能是因为积塔半导体对这次项目非常重视，不想因此出现任何问题。
还有一点更能说明问题，就是近日又公布了新的设备招标情况，这次上海微电子中标了4台工艺检测设备，并且是独家中标。这个设备ASML也能做，这次却没有中标。
由此看来，能用国产设备的，积塔半导体还是支持的，上海微电子成功扳回一局。

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积塔半导体支持国产
工艺检测设备大家可能听说的不多，相比光刻机显得没有那么重要。但近年来芯片良率越来越受重视，工艺检测设备开始越来越重要，越来越多的晶圆制造厂投入使用。
因为它能够提高晶圆制程过程中的工艺控制能力，已经逐步发展成了一种刚需设备。
ASML也不并只是生产光刻机，在工艺检测设备也有布局。但这次还是上海微电子中标了，这充分说明国产的工艺检测设备水平上来了，已经完全可以做到国产替代了。

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【ASML没想到，上海微电子成功扳回一局】上海积塔半导体成立于2017年11月，同年实施的积塔半导体特色工艺生产线项目落户上海临港，总投资359亿，目标建成月产6万片8英寸、5万片12英寸产线。
相比于其他晶圆企业，上海积塔半导体算是新人，因此多次进行芯片制造设备招标，采购了光刻机、涂胶显影设备、离子注入机、刻蚀机、清洗设备、干法去胶机等设备。
从几次招标情况来看，积塔半导体的设备采购国产化率在所有晶圆厂中位居第一。