芯片|已量产7nm制程设备零部件国产半导体厂商富创精密科创板IPO成功过会 IPO|7nm|已量产7nm制程设备零部件

2022年5月5日，上交所科创板上市委发布2022年第35次审议会议结果显示，沈阳富创精密设备股份有限公司(以下简称“富创精密”或公司)顺利通过上交所审核，其科创板上市进程迈出关键性的一步。

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已量产7nm制程设备所需的精密零部件
公开资料显示，富创精密成立于2008年，是一家国产半导体设备精密零部件企业，主要产品应用于半导体设备覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节，部分产品已应用于制造先进7nm制程的前道设备，成为了全球为数不多的可以量产应用于7nm工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。除半导体设备外，公司产品也应用于制造显示面板、光伏产品的泛半导体设备及其他领域。

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据介绍，富创精密产品主要包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路等，并且在高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能方面均达到了国际主流客户标准。

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富创精密目前已有部分腔体、内衬、匀气盘等高端产品应用于7nm工艺制程设备，未来将继续扩大相关品类，并加快研制应用于5nm及更先进工艺制成的半导体设备精密零部件。
值得一提的是，内衬产品已通过主流国际客户认证的除了富创精密，还包括少量美国厂商、韩国Iones、日本Tocalo等，其中韩国 Iones和日本 Tocalo 都是采购了富创精密内衬后进行涂层加工后再销售给主流国际客户。

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报告期内，富创精密的产品已进入了东京电子、HITACHI High-Tech和ASMI等全球半导体设备龙头厂商供应链体系。同时，基于半导体设备国产化趋势，富创精密也积极开拓境内市场，产品已进入包括北方华创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂商，为我国半导体产业供应链安全提供了助力。

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值得一提的是，富创精密实际控制人兼董事长、总经理郑广文先生同时也是半导体设备厂商芯源微的创始投资人。
半导体精密零部件的国产化机遇
根据富创精密的招股书显示，半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续行业“摩尔定律”的瓶颈和关键。鉴于半导体设备厂商往往为轻资产模式运营，其绝大部分关键核心技术需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作为载体来实现。
半导体设备精密零部件具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特性，生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机整合及工程设计等多个领域和学科，是半导体设备核心技术的直接保障。
因此，半导体设备的升级迭代很大程度上有赖于精密零部件的技术突破，从而半导体精密零部件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节之一，也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一，其支撑着半导体设备行业，继而支撑半导体芯片制造和整个现代电子信息产业。

芯片|已量产7nm制程设备零部件 国产半导体厂商富创精密科创板IPO成功过会

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