便利店|弯道超车?俄罗斯研发的EUV光刻机需要解决什么问题?

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在民用消费市场 , 高端芯片的重要性已经不言而喻 , 而随着芯片禁令的不断升级 , EUV光刻机的重要性也随之浮出水面 , 成为当下半导体产业的香饽饽 , 很多国内半导体设备厂商都在加大研发力度 , 比如上海微电子等 。
【便利店|弯道超车?俄罗斯研发的EUV光刻机需要解决什么问题?】我们知道 , 一枚芯片的诞生需要经过设计、制造、封装和测试等环节 , 其中设计、封装和测试等环节我国都已实现自主可控 , 但制造环节由于缺乏EUV光刻机 , 目前还处于被卡脖子的处境 。
EUV光刻机是制造高端芯片必不可缺的半导体设备 , 它是全球各国先进工业技术完美集合的诞生体 , 其生产制造是非一国之力就能完成的 。 长期以来 , 高端EUV光刻机都被荷兰ASML公司所垄断 , 我国由于起步较晚且是被禁运对象 , 因此 , 被卡脖子是不可避免的 , 为此 , 我国也加大了产业扶持力度 , 以图尽早实现光刻机的自主研发 。

尖端科技我国一直都是靠自力更生实现自给自足 , 光刻机的研发也不例外 , 这个过程是孤立无援的 。 但是近期 , 俄罗斯也宣布将入局研发EUV光刻机 。 如此一来 , 在EUV光刻机的研制上我国或将不再孤立 , 有可能与俄结成盟友 , 改变孤立无援的局面 。
芯片禁令对我国影响较大 , 尤其是部分企业 , 比如华为 。 但其实俄罗斯目前也遭受如此境遇 。 由于俄乌战争的影响 , 很多国家和科技企业都陆续停止了在俄罗斯市场的服务和运营 , 其中就包括芯片 , 俄罗斯的第一芯片制造商也遭受了制裁 。
面对如此情况 , 以俄罗斯的个性自然是予以反击 。
据悉 , 俄罗斯已同意开始研发EUV光刻机设备 , 且首轮投资约6.7亿资金 。 不过与ASML的EUV光刻机不同的是 , 俄罗斯研发的是基于同步加速器的无掩膜X射线光刻机设备 , 相当于直写光刻机 。
直写光刻机并不是首次出现的概念 , 我国也有很多企业在研发此类光刻机 , 比如芯碁微电子装备 。 从技术层面上来说 , X射线波长介于0.01nm到10nm之间 , 分辨率比ASML EUV光刻机还要高 , 在加上不需要掩模版 , 理论上会更具优势 。

有利就有弊 , 阻挡X射线光刻机发展的一个致命缺点就是无法实现大规模量产 , 原因是其生产效率极低 。 X射线光刻机需要光束雕刻 , 相比于ASML EUV光刻机的曝光成型 , 速率自然是大打折扣 , 而这对于制造企业来说是难以容忍的 。
如果俄罗斯能够解决生产效率问题 , 相信X射线光刻机将会是ASML EUV光刻机一个很好的替代方案 。