目前常用的PVD有三种:真空蒸镀、溅射镀膜、和离子镀 。它们的工作原理如下:
1.真镀空膜是在1.33x10^-3至1.33x10^-4Pa的压力下 , 用电子束等热源加热材料使之蒸发 , 蒸发的原子或分子直接在工件表面形成沉积层 。
2.溅射镀膜:是不采用蒸发技术的物理气相沉积方法 。施镀时 , 将工作室抽成真空 , 冲入氩气做为工作气体 , 并保持其压力为0.13至1.33Pa 。
3.离子镀:是在真空条件下 , 利用气体放电使气体或蒸发物质离子化 , 在气体离子或蒸发物质离子轰击作用下 , 吧蒸发物质或其他反应物蒸镀在工件上 。
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【PVD真空镀膜原理是什么,cvd镀钛原理?】cvd镀钛原理?
原理:镀钛是在高温 , 真空钛金炉内 , 钛、锆金属 。借用惰性气体的辉光放电使金属或合金蒸气离子化 , 离子经电场加速而沉积带负电荷的不锈钢板上 , 从而形成色泽丰富艳丽的金属膜 。这也叫PVD镀膜 , 是物理蒸汽沉积 。不锈钢镀膜 , 也叫不锈钢钛/锆镀膜 , 就是在一个真空容器内 , 在不锈钢表面形成钛/锆化合物的离子膜层 , 膜层能在室外环境下长年不褪色 。
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