光刻机（Mask Aligner)别名：掩膜对准曝光机 ， 曝出系统软件 ， 光刻系统等 ， 是生产制造处理芯片的关键武器装备 。那麼网民们了解光刻机有哪些归类吗？下边一起来了解一下吧 。
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1、光刻机一般依据使用的简便性分成三种 ， 手动式、全自动、自动式 。
2、手动式：指的是对准的调整方法 ， 是根据手调旋纽更改它的X轴 ， Y轴和thita视角来进行对准 ， 对准精密度显而易见不高了 。
3、全自动：指的是对准可以根据电动式轴依据CCD的开展精准定位自动调谐 。
【针对光刻机有哪些归类? 光刻机有什么分类】4、全自动：指的是从基材的上载下载 ， 曝出时间和循环系统全是根据系统控制 ， 全自动光刻机主要是达到工厂针对产出量的必须 。
以上便是针对光刻机有哪些归类的相关内容 。
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