五氟化钽
五氟化钽,化学式TaF5,白色结晶 。折光能力强 。相对密度4.74 。熔点96.8℃ 。沸点229.5℃ 。
中文名
五氟化钽
化学式
TaF5
水溶性
溶于水和乙醚
应用
生产电容器,也用于化学气相沉积
tantalum pentafluoride
分子式:TaF5
稍溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中,溶于水和乙醚生成氟氧络合离子TaOF52-和氟化氢,亦溶于氢氟酸、硝酸、发烟硝酸 。在空气中吸湿而不水解 。能缓慢腐蚀玻璃 。氟化金属钽制得 。也可由五氯化钽和无水氟化氢作用制得 。用作傅-克反应的催化剂 。用于生产电容器,也用于化学气相沉积 。钽粉直接氟化可制取纯度大于99%的产品 。在微电子工业中用作气相淀积硅化钽或钽,以制作低电阻高熔点的互连线 。
文章插图
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