1第三代半导体概念
第三代半导体材料是以 SiC(碳化硅)、 GaN(氮化镓)为代表(还包括 ZnO 氧化锌、GaO 氧化镓等)的化合物半导体 , 属于宽禁带半导体材料 。禁带宽度是半导体的一个重要特征 。固体中电子的能量是不可以连续取值的 , 而是一些不连续的能带 , 要导电就要有自由电子或者空穴存在 , 自由电子存在的能带称为导带(能导电) , 自由空穴存在的能带称为价带(亦能导电) 。被束缚的电子要成为自由电子或者空穴 , 就必须获得足够能量从价带跃迁到导带 , 这个能量的最小值就是禁带宽度 。
而更宽的禁带 , 意味着从不导通状态激发到导通状态需要的能量更大 , 因此采用宽禁带半导体材料制造的器件能够拥有更高的击穿电场、更高的耐压性能、更高的工作温度极限等等 。第三代半导体与 Si(硅)、GaAs(砷化镓)等前两代半导体相比 , 在耐高压、耐高温、高频性能、高热导性等指标上具备很大优势 , 因此 SiC、GaN 被广泛用于功率器件、射频器件等领域 。
SiC 与 GaN 相比 , 拥有更高的热导率 , 这使得在高功率应用中 , SiC 占据统治地位;与此同时 , GaN 相比 SiC拥有更高的电子迁移率 , 所以GaN具有高的开关速度 , 在高频应用中占有优势 。
2第三代半导体发展历程
自上世纪80年代开始 , 以 SiC、GaN 为代表的第三代半导体材料的出现 , 催生了新型照明、显示、光生物等等新的应用需求和产业 。其中SiC是目前技术、器件研发最为成熟的宽禁带半导体材料 。
SiC的一个重要里程碑是1955年 , 飞利浦实验室的 Lely发明 SiC 的升华生长法(或物理气相传输法 , 即 PVT 法) , 后来经过改进后的PVT 法成为 SiC 单晶制备的主要方法 。这也是SiC作为重要电子材料的起点 。
随着 6 英寸 SiC 单晶衬底和外延晶片的缺陷降低和质量提高 , 使得 SiC 器件制备能够在目前现有 6 英寸 SiC 基功率器件生长线上进行 。而国际大厂纷纷布局的8英寸的 SiC衬底有望在2022年上半年 , 由 Wolfspeed 率先实现量产 , 这将进一步降低 SiC 材料和器件成本 , 推进 SiC 器件和模块的普及 。
为了帮助下文理解 , 这里解释一下 SiC 衬底、晶圆、外延片的关系以及区别 。SiC 衬底是由 SiC 单晶材料制造而成的晶圆片 , 衬底可以直接进入晶圆制造环节生产半导体器件 , 也可以经过外延加工 , 即在衬底上生长一层新的单晶 , 形成外延片 。新的单晶层可以是 SiC , 也可以是其他材料(如GaN) 。而晶圆可以指衬底、外延片、或是已加工完成芯片后但尚未切割的圆形薄片 。
而 GaN 于1969 年首次实现了 GaN 单晶薄膜的制备 , 在20世纪90年代中期 , 中村修二研发了第一支高亮度的 GaN基蓝光 LED 。随后的十多年时间里 , GaN 分别在射频领域比如高电子迁移率晶体管(HEMT)和单片微波集成电路(MMIC) , 以及功率半导体领域起到了重要作用 。2010年 , 国际整流器公司(IR , 已被英飞凌收购)发布了全球第一个商用GaN功率器件 , 正式拉开GaN在功率器件领域商业化大幕 。2014 年以后 , 600V GaN HEMT 已经成为 GaN 器件主流 。2014年 , 行业首次在 8 英寸 SiC 上生长 GaN 器件 。
二SiC产业概念
1SiC市场规模:衬底、功率器件、射频器件
得益于材料特性的优势 , SiC 在功率器件领域无疑会逐渐取代传统硅器件 , 成为市场主流 。而这个进程随着 SiC 量产和技术成熟带来的成本下降 , 以及终端需求的升级而不断加速 。包括新能源汽车电驱系统往 800V 高压平台发展、480kW 充电桩、光伏逆变器向高压发展等 , 技术升级的核心 , 预计 2021 年到 2030 年 SiC 市场年均复合增长率(CAGR)将高达50.6% , 2030 年 SiC 市场规模将超 300 亿美元 。
在材料端 , 2020 年全球 SiC 衬底市场价值为 2.08 亿美元 。对于市场未来的增长 , Yole预计到 2024 年全球 SiC 衬底市场规模将达到11亿美元 , 2027年将达到33亿美元 , 以2018年市场规模1.21亿美元计算 , 2018-2027年的复合增长率预计为44% 。
在应用端 , 2020年全球 SiC 功率器件市场规模为6.29亿美元 , mordor intelligence 预计到2026年将达到 47.08 亿美元 , 2021-2026 的年复合增长率为 42.41% 。其中由于电动汽车的爆发 , 汽车行业将是 SiC 功率器件的主要增长应用 , 而亚太地区会是增长最快的市场 。亚太地区受到包括中国大陆、中国台湾、日本、韩国的驱动 , 这四个地区共占全球半导体分立器件市场的 65% 左右 。在光伏逆变器上 , SiC 渗透率也呈现高速增长 , 华为预计在2030年光伏逆变器的碳化硅渗透率将从目前的2%增长到70%以上 , 在充电基础设施、电动汽车领域渗透率也超过的80% , 通信电源、服务器电源将全面推广应用 。
另外 , 在射频 GaN行业 , 采用 SiC 衬底 , 也就是 GaN-on-SiC(碳化硅基氮化镓)技术发展得最早 , 市占率也最高 , 同时在射频应用领域已经成为LDMOS和砷化镓的主要竞争对手 。除了在军用雷达领域的深度渗透 , GaN-on-SiC 还一直是华为、诺基亚等通信基站厂商的5G大规模MIMO基础设施的选择 。根据 Yole 的统计 , 2020 年全球 GaN-on-SiC 射频器件市场规模为8.86亿美元 , 预计 2026 年将达到 22.2 亿美元 , 2020-2026 年复合增长率为17% 。
2SiC市场供需情况
尽管 SiC 无论在功率器件还是在射频应用上市场需求都有巨大增长空间 , 但目前对于 SiC 的应用 , 还面临着产能不足的问题 , 主要是 SiC 衬底产能跟不上需求的增长 。据统计 , 2021年全球 SiC 晶圆全球产能约为 40-60 万片 , 结合业内良率平均约50%估算 , 2021 年 SiC 晶圆全球有效产能仅20-30万片 。
与此同时 , SiC 需求方的增长在近年呈现爆发式增长 。以特斯拉为例 , 2021 年特斯拉电动汽车全年产量约 93 万辆 , 据测算 , 如果这些车辆搭载的功率器件全采用 SiC , 单车用量将达到 0.5 片6寸 SiC 晶圆 , 一年的6寸 SiC 晶圆需求就高达46.5万片 , 以如今全球 SiC 衬底产能来看甚至无法满足一家车企的需求 。
与此同时 , 衬底又是整个 SiC 产业链中技术门槛最高、成本占比最大的环节 , 占市场总成本的50%左右 。华为在《数字能源2030》白皮书中提到 , SiC 的瓶颈当前主要在于衬底成本高(是硅的 4-5 倍 , 预计未来 2025 年前年价格会逐渐降为硅持平) , 受新能源汽车、工业电源等应用的推动 , 碳化硅价格下降 , 性能和可靠性进一步提高 。碳化硅产业链爆发的拐点临近 , 市场潜力将被充分挖掘 。
但目前 SiC 产业仍处于产能铺设初期 , 2020年开始海内外大厂都纷纷加大投入到 SiC 产能建设中 。国内仅 2021 年第一季度新增的 SiC 项目投资金额就已经超过 2020 年全年水平 , 是 2012-2019 年 SiC 领域合计总投资值的5倍以上 。三安光电预测 , 2025年 SiC 晶圆需求在保守与乐观情形下分别为219和437万片 , 车用碳化硅需求占比60% , 保守情况下碳化硅产能缺口将达到123万片 , 乐观情况下缺口将达到486万片 。
3SiC产业主要运作模式
经过超过 60 年的发展 , 硅基半导体产业自台积电创始人张忠谋开创晶圆代工模式后 , 目前已经形成了高度垂直分工的产业运作模式 。但与硅基半导体产业不同 , SiC 产业目前来看 , 主要是以 IDM 模式为主 。
SiC 产业目前以IDM模式为主的主要原因:
1) 设备相比硅晶圆制造较为便宜 , 产线资本投入门槛相对较低;
2) 受益于成熟的半导体工艺 , SiC 器件设计相对不复杂;
3) 掌握上下游整合能力可以加速产品迭代周期 , 有效控制成本以及产品良率 。
当前 SiC 市场中 , 全球几大主要龙头 Wolfspeed、罗姆、ST、英飞凌、安森美等都已经形成了 SiC 衬底、外延、设计、制造、封测的垂直供应体系 。其中 , 除了 Wolfspeed 之外 , 其他厂商基本通过并购等方式来布局 SiC 衬底等原材料 , 以更好地把控上游供应 。
同时 , 这种趋势也导致目前 SiC 产业中不仅仅是下游往上游布局 , 而上游厂商也同时在下游发展 。SiC 产业可以说是“得衬底者得天下” , SiC 衬底厂商掌握着业内最重要的资源 , 这也为他们带来了极大的行业话语权 。
国内方面 , 由于产业布局相比海外大厂要晚 , 而 IDM 模式是加速发展的最有效方式之一 , 包括三安光电、泰科天润、基本半导体等 SiC 领域公司都在往 IDM 模式发展 。三安光电投资160亿元的湖南三安半导体基地在去年6月正式投产 , 这也是国内第一条、全球第三条 SiC 垂直整合产业链 , 提供从衬底、外延、晶圆代工、裸芯粒直至分立器件的灵活多元合作方式 , 有利于形成当地宽禁带半导体产业聚落 , 加速上游 IC 设计公司设计与验证迭代 , 缩短下游终端产品上市周期 。
文章插图
什么是三代半导?
【第三代半导体是什么,什么是三代半导?】半导体第三代一般指禁带宽度大于2.2eV的半导体材料 , 也称为宽禁带半导体材料 。半导体产业发展至今经历了三个阶段 , 第一代半导体材料以硅为代表;第二代半导体材料砷化镓也已经广泛应用;而以氮化镓和碳化硅、氧化锌、氧化铝、金刚石等宽禁带为代表的第三代半导体材料 , 相较前两代产品性能优势显著 。
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