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ASML对自主生产的光刻机设备有很大的自信 , 表示过即便公开图纸别人也造不出来 , 也认为中国难以独立造出顶级光刻机 。 种种表态来看 , 无不彰显ASML的自信 。
与此同时ASML也在加大EUV光刻机的产能 , 对中国市场一直在努力寻求自由出货的方式 。 然而ASML再度传来消息 , 声称有一家中企侵权 , 而中企的公开信息却表示核心技术完全自研 。 事情的来龙去脉是怎么回事呢?ASML坐不住了?
ASML诉中企侵权
顶级光刻机产品可以说是全人类智慧的结晶 , 汇聚了人类文明的最高成就 。 虽然顶级的EUV光刻机出自ASML之手 , 但大部分的核心技术及零部件产品 , 涵盖软件硬件设施等等都来自世界各地 。
美国的光源设备 , 德国的光学镜头 , 荷兰的腔体等等组成现有的EUV光刻机产品 , 可用于生产7nm , 5nm高端芯片 。
重要性和生产复杂难度不言而喻 , 全世界也只有ASML能生产EUV光刻机 。 当然 , 光刻机的种类有非常多 , 并不仅仅集中在EUV光刻机 , 其余类别的光刻机在技术难度方面和EUV光刻机是存在差距的 。
因此日本尼康 , 佳能和中国的上海微电子都有能力生产出非中高端光刻机设备 。
出于对技术的自信 , ASML公开表态过就算公开图纸别人也造不出来 。 然而出乎ASML意料的事 , 其发现一家中国公司掌握可能侵犯ASML知识产权的技术产品 。
根据消息来看 , ASML在发布的2021年财报中指出 , 称中国企业东方晶源微电子侵犯了ASML的知识产权 , 并且中国销售有关侵权产品 , 已要求部分客户停止与该公司的业务往来 。
在得知这一消息后 , 许多人的内心应该是疑惑的 , 第一想法应该是ASML生产的光刻机如此先进 , 别人怎么可能轻易掌握 , 又是如何侵权的 。 或者说是在自主研发的道路上攻克了类似别人已经掌握的技术 , 所以存在侵权 。
关于东方晶源这家公司是否侵权ASML还没有下定论 , ASML的指控中也用上了“可能”两个字 , 说明并没有绝对的确凿证据 。
而之所以让ASML提出侵权指控 , 其实和东方晶源背后的一家关联子公司有关 。 2019年东方晶源旗下关联子公司XTAL也曾陷入侵权指控 。 同样是由ASML对XTAL提出侵权诉求 , 经过ASML的多方调查论证和努力 , 结果显示却有侵权情况 , XTAL因此被判罚53亿人民币 。
时隔多年 , ASML再次公开声称中企侵权 , 而侵权的企业又是曾经胜诉侵权公司的母公司 , 所以ASML认为曾经侵权的企业和现在指控侵权的东方晶源存在关系 。
虽然发现了东方晶源销售有关疑似侵权产品 , 但由于尚未掌握确凿证据 , 所以ASML在给出“可能”形容词的同时也没有采取进一步的法律行动 。
值得一提的是 , 在东方晶源的官网中显示关键技术完全自研 , 且技术国际领先 。 东方晶源的有关产品覆盖集成电路关键制造技术 , 对提升芯片良率有关键作用 。
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