本文转自:无线徐州历时九个月|徐州经开区:原磊纳米材料先进制程镀膜设备制造中心项目正式投产

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历时九个月 , 原磊纳米材料先进制程镀膜设备制造中心项目今年1月正式投产 , 预计首批产品将于2月份组装下线 。
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原磊纳米材料先进制程镀膜设备制造中心位于徐州经开区凤凰信息产业园内 。 采访人员在洁净车间看到 , 几名身穿防护服的工作人员们正忙着安装和调试ALD设备 。 据介绍 , 原子层沉积(ALD)是一种可以将目标物质以单原子膜的形式 , 一层一层镀在基底表面的先进沉积技术 , 是半导体领域的必要技术 。 目前 , ALD设备是应用在先进制程上的半导体真空薄膜沉积设备 。
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原磊纳米徐州装配中心主任张厚鹏说 , 我们这个设备是通过一定的工艺手法使材料在原子层级别进行沉积 , 沉积的厚度和沉积的循环批次可以受控 , 这个方面在国内算是领先的 。 今年预计出货在50到70台左右 , 预期产值在5千万到7千万左右 。
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原磊纳米材料致力于成为拥有设备、材料、工艺全链条核心技术的半导体领域领先企业 , 为半导体行业提供最满意、最全面的真空镀膜设备及工艺解决方案 , 主要产品是研发型和量产型ALD设备 。
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凤凰湾电子信息产业园是徐州经开区瞄准封装测试和第三代半导体产业打造的“特色园区” , 经开区优化各项服务机制 , 扎实推进项目快速投产 , 截至目前 , 园区内江苏天科合达、江苏晶凯半导体、徐州芯思杰等9个项目均已竣工投产 。
大庙街道代办服务中心工作人员王莹告诉采访人员 , 徐州原磊是凤凰湾电子信息产业园第一家做半导体薄膜沉积设备的项目 , 也是园区2022年第一家投产的企业 , 下一步 , 将继续跟踪服务园区其他在建项目 , 保证在建项目早投产 , 投产项目早达效 。
徐视融媒采访人员:李玉洁孙思亚
通讯员:闫实王默
编辑:戚蓓宁汤倩