芯片|200毫米的短缺可能会持续多年( 五 ) 汽车|半导体|扫描仪|it芯片

同时，在工艺流程中，检查芯片是否存在缺陷。为此，芯片制造商使用晶圆检测系统来发现缺陷。他们还使用不同的计量设备来测量结构。
检查/计量设备供应商看到了对 200mm 工具的巨大需求。 KLA副总裁兼总经理 Wilbert Odisho 表示：“200 毫米晶圆厂一直收到稳定的客户订单，并且正在满负荷运转。 “客户要求加快设备发货日期以支持这一需求。 ”
对于 300 毫米晶圆厂中的前沿芯片，器件中的特征尺寸很小。缺陷也是如此。芯片制造商需要先进的检测/计量系统来发现这些微小的缺陷。
相比之下，在 200 毫米晶圆厂生产的芯片具有更大的特征尺寸。缺陷更大，更容易被发现。无论大小如何，找到缺陷都至关重要，尤其是用于汽车应用的芯片。汽车供应商想要没有缺陷的芯片。
多年前，芯片制造商可以通过使用较旧的 200mm 检查/计量工具来获得。许多应用程序不再是这种情况。鉴于当今汽车和其他应用程序的缺陷要求，许多芯片制造商需要功能更强大的 200 毫米检测/计量设备。
“除了翻新和重新认证以前拥有的设备外， KLA 还重新推出了许多产品线来支持不断增长的需求， ”Odisho 说。 “我们通过在我们的生产线上重新推出 200mm 成熟设备来满足这一需求，使新一代系统能够兼容 200mm ，并提供增强功能以提高已使用系统的吞吐量和性能。 ”
其他 200mm 设备市场也有严格的要求。以晶圆清洗为例。在工艺流程中，晶圆需要使用晶圆清洗工具进行清洗。
“对于汽车而言，质量要求和可重复性要求非常精确， ”Screen Semiconductor Solutions 工程副总裁 Ian Brown 说。几年前， Screen 重新开发了所有适用于 200mm 的工具，包括单晶圆湿工作台。
结论
显然， 200mm 是一个充满活力的市场。在 200mm 代工厂方面，跟踪产能情况很重要。了解谁在制造 200mm 晶圆厂设备也很重要。
【芯片|200毫米的短缺可能会持续多年】但动态总是在变化，在复杂的环境中增加了挑战。