自动探针台科普
原创芯片失效分析半导体工程师2022-01-1809:07
一、什么是自动探针台
自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器 。 主要用于晶圆测试 , 晶圆尺寸:4英寸,6英寸,8英寸 , 12英寸晶圆片装卸:1个载片盒(25或者26个片槽) , 连续的可编程双向加载 , 快速单片晶圆手动上下片 , 防晶圆交叉保护XYZ-精度:±3微米 。
二、设备外观
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三、主要功能
1.TTL专用测试仪接口;GPIB/RS232/网络接口(选配);与测试机连接方便;
2.Windows风格界面 , 动态显示测试过程 , MAP图实时显示、存储;
3.Map导航功能 , map编辑(可编辑标注DIE属性、测试区域);
4.自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式;
5.图像对准功能 , 自动扫描 , 自动首点对准;
6.同步打点、离线打点功能(可导入map);喷墨打点 , 墨点尺寸?0.5mm;
7.分级权限管理;
8.控制打印机打印测试结果;
9.配合上位机 , 上传并记录测试数据 。
四、主要技术指标
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五、使用环境:
1.电源:AC220V±22V50Hz±1Hz , 功率:<1.5KW
2.压缩空气源:>0.7MPa , 10L/H
3.使用环境:温度:15oC-25oC相对湿度:<70%
来源:失效分析赵工
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半导体工程师
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