为卖给中国光刻机,ASML敢向美国喊“不”?倪光南的担心不能忘( 二 )
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2、技术层面:国产DUV渐入佳境
在国产光刻机研发方面 , DUV也是最早取得突破的一个技术方向 。 自去年开始 , 上海微电子所已经突破了90nmDUV光刻机制造技术 , 而2022年下半年 , 微电子所技术团队更是再接再厉 , 成功研发出国内首台28纳米DUV光刻机 。
要知道 , 上海微电子的DUV技术 , 是顺着ASML浸没式工艺(ArF)一路攻关下来的 , 而ArF的技术上限 , 甚至能支持7nm制程的芯片加工 。 所以ASML即便顶着美国压力 , 也要赶紧把手里的DUV卖出去 , 这笔钱2022年不赚 , 2023年可能就没得赚了!
三、结语
总体来看 , ASML此次的“硬气”就源自两个原因:首先是DUV技术 , ASML完全自主;其次 , 趁着中国本土的DUV产业尚未完全成型 , 赶紧清一清自家落后产品的库存 。
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【为卖给中国光刻机,ASML敢向美国喊“不”?倪光南的担心不能忘】而这也正应了倪光南那句话:核心技术买不来 。 外企卖给你的技术 , 永远是处于淘汰边缘的落后技术!
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