不仅如此 , 10万多个零部件 , 哪个先装 , 哪个后装 , 用什么方式安装 , 调试的顺序、参数等等因素 , 都会直接影响EUV光刻机最终的工作情况 。 所以 , 仅拿到光刻机的图纸 , 还真的很难造出光刻机 。
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