在衍射光波导布局方面,珑璟光电自2019年便开始发力投入,目前已设有衍射光波导微纳实验室,打造了完善的纳米压印实验线,并于2021年推出新一代衍射光波导产品,目前已走通了整套纳米压印流程,具备小批量的出货能力。同时在规划中的纳米压印量产线,将包含电子束曝光设备、刻蚀设备、电镜检测设备等全流程半导体光刻生产检测设备。
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