2nm芯片应该怎么造?台积电给出“终极答案”

为了延续摩尔定律 , 科学家们想尽了方法……
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随着先进制程下发热和漏电现象愈发难以控制 , 各家芯片巨头都在寻找新的工艺突破 。
在最近举行的一场半导体行业大会上 , 台积电南京公司总经理罗镇球介绍了2nm制程的最新动态 。
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图|源自网络
罗镇球表示 , 台积电将在2nm节点使用全新的nanosheet/nanowire(纳米片/纳米线)晶体管结构取代目前主流的FinFET工艺 。
有趣的是 , 三星在3nm节点就已经采用新工艺 , 但因为制造技术难度大 , 量产计划被迫推迟 , 有点“起了大早 , 赶了晚集”的意思 。
如今 , 两家半导体巨头将在2nm节点迎来一次“正面交锋” 。
放弃FinFET , 新工艺挑战摩尔定律极限
2nm工艺有多夸张?
按照台积电的说法 , 要在指甲盖大小(100mm2)的芯片上安装490亿个晶体管 , 这听上去就如同天方夜谭 。
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但工程师们总有新办法:如果能将晶体管像积木一样堆叠起来 , 那么就能有效减少电路的占位面积 , 那么晶体管的密度或许就能翻倍 。
这种设计思路广泛被下一代新工艺采纳 , 例如此次台积电采用的nanosheet、英特尔主导的nanowire以及三星采用的GAA工艺(Gate-All-Around , 全环绕栅极晶体管) , 本质上都大同小异 。
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用一个简单的例子来描述新结构:在最早的Planar工艺下 , 半导体材料如同一张2D平面的白纸;到了FinFET时代 , 这张白纸被折成了3D的鳍(Fin)状 , 缩小了闸长 。 而如今为了放下更多晶体管 , 半导体材料像积木一样被堆叠起来 , 就如同高楼大厦一样立体 , 最终可以容下更多晶体管 。
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除了解决晶体管密度问题以外 , 新工艺另一个目的是为了解决高温以及漏电(leakage)现象 。
在2nm节点 , 集成电路的线宽接近电子波长 , 精细程度几乎达到了原子级别 , 理论上量子隧穿效应已经来到物理极限 。
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图|历代工艺示意图
在这种情况下 , 电子很容易通过隧穿效应穿透绝缘层 , 使器件无法正常工作 。
这样的漏电不仅白白浪费了电能 , 更是引起芯片严重发热的原因 , 同时也解释了一些芯片为什么功耗过高 。
而在这样的前提之下 , 如果芯片设计商在设计环节继续“翻车” , 那么最终结果就是诞生出“火龙888”这样高功耗的产品 。
正是因为这样的不确定性与各种悲观 , 老迈的FinFET工艺已经力不从心 , 但科学家们显然不会轻易放弃摩尔定律 。
以相对成熟的三星GAA工艺(Gate-All-Around、全环绕栅极晶体管)为例 , 三星将原有FinFET工艺中鳍状改良成多路桥接鳍片 , 截面为水平板状或者水平椭圆柱状 。
按照三星的说法 , 同样是7nm节点 , 使用GAA工艺可以将电压下降至0.7V , 并且能够提升35%的性能、降低50%的功耗和45%的芯片面积 , 这还只是最初的实验品 。
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图|GAA工艺横截面
除了三星的方案以外 , 其他几家公司也推出不同的结构:
类似nanowire的鳍片为圆柱状;其他设计包括环状、六边形状、片状等等 , 根据不同的场合有不同的改变 。