光刻胶|芯片里面100多亿个晶体管是如何安装上去的( 三 )


三星押注的是GAA环绕栅极晶体管技术,台积电目前还没有公布其具体工艺细节。三星在2019年抢先公布了GAA环绕栅极晶体管,根据三星官方的说法,基于全新的GAA晶体管结构,三星通过使用纳米片设备制造出MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET,多桥-通道场效应管),该技术可以显著增强晶体管性能,取代FinFET晶体管技术。





光刻胶|芯片里面100多亿个晶体管是如何安装上去的
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此外,MBCFET技术还能兼容现有的FinFET制造工艺的技术及设备,从而加速工艺开发及生产。

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