2021年 ， 睿励出货了大量TFX3000和TFX4000系列设备 ， 合计出货量超过30台 ， 稳定性已得到充分的验证 。 并且是国内唯一打出韩国三星芯片制造产业链的工艺检测设备 。 这也让国内蚀刻机龙头中微公司看到了合作机遇 ， 因此在2021年的一季度 ， 中微公司对睿励增资1亿元 ， 布局工艺检测设备 。
到目前为止 ， 国内的中科飞测、东方晶源、睿励等均已实现了12英寸晶圆的量测设备自研 ， 虽然目前 ， 美国科磊仍然保持着全球52%的市占率 ， 尤其是在晶圆形貌检测、无图形晶圆检测、有图形晶圆检测领域保持绝对优势 ， 但是目前睿励已经在集成式膜厚关键尺寸量测领域获得突破 ， 中科飞测也取得了部分订单 ， 可以肯定的是量测设备领域正在加速国产取代 。
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