飞利浦|给钱都不卖,ASML为啥这么牛

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它来自荷兰,在半导体行业享有绝对话语权,一台机器卖1亿欧元,仍然供不应求。它是谁?欲知详情,敬请关注下期节目。
导语:
当今社会,三星、英特尔、AMD等半导体巨头林立,竞争愈演愈烈。然而这家来自荷兰的半导体企业,却凭借其绝对的技术优势,掌握着各大巨头的命脉。它就是脱胎于荷兰飞利浦,占据了当下光刻机市场份额90%,且拥有全球唯一高端EUV(极紫外光刻)的ASML(阿斯麦)。触摸品质,发现未来,请立即观看十万个品牌故事之《ASML:科技是第一生产力》
自从集成电路被发明以来,电子设备越来越小,芯片的制造难度也越来越高。为了完成这道复杂的工艺流程,集成电路制造中最精密复杂、难度最高、价格最昂贵的设备光刻机被人们发明出来,同时,因为光刻工艺直接影响着半导体线路的线宽,进而影响着芯片的性能与消耗,因此,光刻机,成为半导体行业的最关键设备。
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早在1971年,荷兰飞利浦公司就已经成立了光刻设备研发小组,并在两年后推出了性能有所提升的新型光刻设备,但是因为造价高昂,且仍存在技术问题,飞利浦不得不关停了技术小组。此时,半导体设备代理商ASMI请求与飞利浦合作,终于在软磨硬泡下,于1984年共同成立了ASML。当时的国际市场上,ASML并不具备技术优势,而且尼康、佳能、蔡司等巨头,都拥有自己的光刻设备。1986年,ASML推出首台步进式光刻机,将半导体工艺制程向上提升了一个台阶,并和卡尔蔡司建立密切合作关系。1995年,ASML上市,在得到了大量资金支持后,于2000年收购 Silicon Valley Group,获得了投影掩罩瞄准技术、扫描技术,极大的提升了公司产品的质量,并在美国拥有了研发生产基地。同年,ASML推出了TWINSCAN双工作台光刻机,使得光刻机能在一个工作台进行曝光晶圆片,同时在另外一个工作台进行预对准工作,并在第一时间得到结果反馈,生产效率提高大约 35%,精度提高 10%以上,一举奠定了光刻机领域的霸主地位。
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2007年,ASML配合台积电林本坚提出的技术方向,推出了能显著提升蚀刻精度的193nm光源的浸没式系统,成为高端光刻的主流技术方案。至此,尼康与佳能败下阵来,ASML占据了DUV市场70%的份额。
按照所使用的不同光源,阿斯麦的光刻机可以分为DUV和EUV。DUV是Deep Ultra Violet,即深紫外光;EUV是Extreme Ultra Violet,即极紫外光。前者的极限工艺节点是28nm,要想开发更先进的制程,就只能使用EUV光刻机了。
2010年,ASML推出首台EUV设备TWINSCAN NXE:3100系统,与之前的光刻机相比,能够使用更短波长的光,使得客户可以制造更小规格的产品,在同一块芯片上集成更多的晶体管。
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2013年,ASML TWINSCAN NXE:3300BEUV光刻机研发成功,使用的光源是22nm,该半导体设备只有 ASML能供应,这在全球产业链中属于极度特别的状态,而一台 EUV 光刻机的造价高达 1 亿欧元,价格相当于美国四代战斗机F35,尽管如此,但对于英特尔、三星等半导体巨头来说,EUV仍是绝对不可或缺的核心设备。
而且,ASML的股权结构很有意思,它规定,凡是投资ASML的企业,都将获得优先购买权,这让英特尔、三星、台积电纷纷掏出腰包。2012年,三星投资5.03亿欧元、台积电投资8.38亿欧元、英特尔投资33亿欧元,分别买入了ASML公司3%、5%和15%的股份,作为上游产业,ASML先收费,再为你研发产品,有技术,就是可以为所欲为。不过,你也别理解为ASML太黑,在持有股份后,台积电于2015年出售ASML全部股权,获利6.95亿美元,三星于一年后出售全部ASML股份,同样获利颇丰。而英特尔也将自己的股份减少到7.6%,三巨头都从中得到了利益,虽然此后这部分利益将用于购买售价高达1亿欧元的EUV。同年,ASML以 11亿美元收购德国光学巨头蔡司24.9%的股份,并承诺 8.4亿美元的研发投入,联手研发数值孔径高于 0.5的镜头。