光刻机|美国封锁失败!国产EUV光刻机迎重大突破,阿斯麦尔总裁:最多3年

光刻机|美国封锁失败!国产EUV光刻机迎重大突破,阿斯麦尔总裁:最多3年
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打破美国封锁,中国国产EUV光刻机取得重大突破,这种设备究竟有多重要?中国为何能获得突破?中国又将在何时制造出第一台EUV光刻机?
我们知道,芯片作为电子产品的核心,已经成为迈向高新技术的必需品。而近年来中国高新技术的发展,被西方社会视为“洪水猛兽”,而美国近年来也针对中国打起“科技战”,手段就有对一些科技产品进行禁运,这其中就包括了芯片。但是,中国正在努力解决这个问题。
根据中国新闻网的报道,由长春光机所研制的EUV光刻机日前突破核心部件“光学投影物镜”制造关键技术,这代表着中国的EUV光刻机取得了跨越式发展。
提起光刻机,很多人并不陌生,都知道这是制造芯片的必要设备,并且也知道目前荷兰阿斯麦尔实现了该产业的垄断地位。
实际上光刻机也分为很多种,比如上海微电子已经研制出了深紫外线DUV光刻机,能否制造芯片,但是像7纳米甚至3纳米这样的高精度芯片,需要波长更短的极紫外线EUV光刻机,而目前能生产EUV光刻机的,仅有荷兰阿斯麦尔公司。
1999年,阿斯麦尔开始研发 EUV 光刻机,得到当时几大半导体巨头的倾力相助,基本是西方最先进的技术参与了研制,然而EUV 光刻机研制工艺难度极大,原计划在2004年推出EUV 光刻机,但直到 2010 年才研制出首台原型机,并且2016年正式供货,比预计时间晚了十几年。
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据获悉, EUV 光刻机的难点主要集中在光源功率、反射镜系统以及光学透镜等方面,由于生产难度极大,才使得研制计划推迟了那么久。
但正因如此,阿斯麦尔的EUV光刻机被称为是人类科技的巅峰,也由此推动了半导体产业的革命。同时中国半导体产业也在近年来迅速发展,对于EUV光刻机的需求也增加,而唯一的购买渠道就是荷兰阿斯麦尔公司。
2021年上半年,阿斯麦尔一共售出了16台EUV光刻机,卖出24.56亿欧元,也就是说一台EUV光刻机售价在1.5亿欧元以上,相当于11.5亿元人民币,这个价格堪比一架豪华的波音787型客机。
然而阿斯麦尔的EUV光刻机还不仅仅是贵的问题,在更多时候属于是有价无市。
据获悉EUV光刻机制造周期极其复杂,光零件就需要10万个,需要依靠全球供应链。一台制造7纳米芯片的光刻机制造周期大约是21个月,而一年的生产数量也是有限的。比如在2019年,阿斯麦尔共制造了30台光刻机。
由于数量有限,要想买到的话就要遵循一些苛刻的条件。比如阿斯麦尔规定,哪家企业对阿斯麦尔的投资更大,就更能拿到购买的优先权,而这其中英特尔、三星和台积电的投资占比占了大多数,具有订单优先权,而像大陆企业订购一台,能在5年时间拿到货就不错了。
不过对于大陆企业而言,真正面临的困难还不是在阿斯麦尔公司本身。
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1996年,美国拉着日本、印度在内的42个国家签订了一份《瓦森纳协定》,该协定旨在控制常规武器和高技术贸易,但实际上《瓦森纳协定》就是被美国所控制,成为了美国用来设置“贸易壁垒”的工具。去年,美国宣布扩大《瓦森纳协定》的管控范围,将半导体材料也加入其中,实际上明眼人都可以看出来,美国此举就是有意打击中国的半导体产业。
不久之后,阿斯麦尔公司也曝出,美国政府向其施压,禁止他们向中国企业出售EUV光刻机,也就是说中国无论花多少钱,都买不到阿斯麦尔的光刻机了。