Shoichiro Yoshida 后来成为尼康的首席执行官，他设计了该公司第一台用于半导体制造的步进重复机器 。
1990 年代，SVG 在新任命的首席执行官 Papken Der Torossian 的领导下扩展到光刻领域 。SVG 曾试图收购 GCA，但交易从未实现，GCA 于 1988 年被出售给 General Signal 。
然而，Der Torossian 成功地获得了由 Perkin-Elmer 与 IBM 联合开发的下一代步进扫描系统 Micrascan——但他表示，这需要数千万的研发和两年半的时间才能完成 。修复系统中的错误 。结果是 Micrascan II 。
“他们的机器无法工作——平均故障间隔时间不到一小时 。IBM 无法使用它 。但它拥有非常好的基础技术，”他说 。
Der Torrossian 解释道，现金短缺让美国丧失了保留先进光刻技术的机会 。
“在 1992 年，ASML 正在大规模投入 。拥有它们的飞利浦找我，并以 6000 万美元的价格出售 ASML 。我没有 6000 万美元 。我告诉他们，但我会给你同等数量的股份，让我们建立一个合资企业 。但他们说，‘不，飞利浦需要现金 。’”
到 2001 年，ASML 扭转了局面，最终以 16 亿美元收购了美国最后一家主要的光刻公司 SVG 。由于国家安全问题，这笔交易被推迟了几个月，但在 ASML 同意剥离 SVG 的 Tinsley Labs 部门后，最终得到了乔治·W·布什政府的批准 。

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