光刻机|EUV光刻机美一家说了算?并不是

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要想要生产制造先进制程的芯片 , 就必须要有先进的光刻机 , 在全球范围内 , 目前光刻机技术最先进的厂商是ASML 。
据悉 , ASML生产制造的光刻机几乎占领了中高端市场 , 尤其是DUV光刻机和EUV光刻机 , 在这两种光刻机中 , EUV光刻机最为重要 。
因为EUV光刻机是生产制造5nm、3nm等芯片必要设备 , 关键是目前仅有ASML能制造 。
【光刻机|EUV光刻机美一家说了算?并不是】另外 , EUV光刻机被制造出来后 , 其就供不应求 , 今年的产能是45台 , 预计未来两年将生产制造115台 。

也就是因为EUV光刻机是当下最先进的技术 , 再加上 , 其又供不应求 , 所以ASML的EUV光刻机在没有许可的情况下 , 是不能自由出货的 。
EUV光刻机不能自由出货 , 很多人都认为这是因为美修改规则 , 毕竟ASML又采用美技术 , 所以美不允许ASML自由出货EUV光刻机 。
但实际上 , EUV光刻机能否自由出货 , 并非美一家说得算 , 因为ASML的EUV光刻机采用了多达42个国家的核心技术 , 凡是有一个国家不同意 , 其就不能自由出货 。

例如 , ASML采用了美国的光源技术、德国徕卡镜头和多层膜技术以及其它国家的真空技术、抗腐蚀技术、掩模照明光学系统等 。
可以说 , EUV光刻机的零部件超过10万个 , 其中 , 光源技术、微缩投影光学系统等8项是最核心的技术 。
可以说 , 这些核心元器件来自不同国家的企业 , 才促使ASML生产制造出来这么先进的设备 , 所以在EUV光刻机出货方面 , 需要42个国家都同意才能够自由出货 , 并美一家 。

当然 , 就目前而言 , ASML是急于自由出货EUV光刻机 , 而ASML自由出货EUV光刻机的最大阻碍就是美 , 毕竟 , 其他国家都同意 , 是美修改规则禁止ASML自由出货的 。
否则 , ASML也不会公开发出警告 , 限制ASML等自由出货 , 这不利于全球芯片产业的发展 , 甚至在未来15年后 , ASML的光刻机在中国市场或许就没有份额了 。
还有一点就是 , ASML近年来一直都在提升EUV光刻机的产能 , 预计在2021年、2022年和2023年共计生产160台EUV光刻机 。

而ASML加速提升EUV光刻机的产能 , 实际上就是想加速EUV光刻机的普及 , 解决EUV光刻机供货不足的问题 。
也就是说 , EUV光刻机技术大量普及后 , 而EUV光刻机的产能又大于求的时候 , ASML自然就能够自由出货了 。
更何况 , ASML已经开始正式生产制造全新一代EUV光刻机 , 计划在2023年下线商用 , 届时 , 现款EUV光刻机自然也就不是什么最先进的技术了 。

可以说 , ASML加速提升产能 , 并正式生产制造全新一代EUV光刻机 , 这是一个好消息 , 毕竟其利于现款EUV光刻机自由出货 。
一旦ASML实现EUV光刻机自由出货 , 国内芯片制造企业就解决了所有Seven纳米芯片的生产问题 , 毕竟用DUV光刻机生产制造成本高、效率低 。
关键是 , 有了EUV光刻机 , 国内厂商还能全面进入5nm、3nm等制程芯片的研发生产工作 。
国产光刻机好消息也不断
除了ASML带来的好消息外 , 国内在光刻机技术方面也取得了不少的突破 , 像光源技术、光刻胶技术等 。

最主要的是 , 国内厂商预计在年底就能够建设国产28nm芯片生产线 , 而全新一代上海微电子的光刻机预计在今年底或明年初下线投产 。