asml|国产光刻机全线突破,ASML可惜了
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光刻机作为芯片制造的核心设备 , 一直是我国半导体产业中最大的短板 , 虽然上海微电子也能够生产光刻机 , 但此前只有90nm的技术水平 , 很难满足中高端芯片市场的制造需求 , 与荷兰光刻巨头ASML相比 , 差距更是一目了然 。
在老美实施芯片禁令之后 , ASML就被限制了对华市场的自由出货 , 在这样的情况下 , 我们若想实现芯片的国产化 , 就必须先越过“光刻壁垒” , 换句话说 , 光刻机这项核心制造设备 , 关系着中美科技竞争的最终走向 , 其重要性不言而喻 。
也正是由于这个原因 , 中科院、清北高校等科研机构纷纷跑步入局光刻技术的研发 , 并成立专项技术攻关小组 , 力争在最短的时间内完成突破;上海微电子等设备厂商也不甘落后 , 积极地强化光刻业务 。
尽管ASML和吴汉明院士都不看好我们自研光刻机 , 而且台积电张忠谋还反对我们芯片自给自足 , 但没想到打脸会来得这么快 , 中高端光刻设备技术在中国科学家们的努力之下 , 实现了全线突破!
据媒体报道 , 上海微电子自研的首台中端国产光刻机已经落地 , 且完成了检测认证 , 预计年底之前便可大批商用 。
认证组的专家透露 , 该项国产光刻设备的曝光精度与DUV光刻机在同一范围内 , 同为浸润式光刻机型 , 波长均为193nm 。 要知道 , 在EUV光刻机没有诞生之前 , 台积电就是利用DUV设备、采用多重曝光技术 , 实现了7nm芯片的量产 。
如今中芯国际的FinFET二代制造技术已经成熟 , 比台积电当初的多重曝光技术更加先进 , 这意味着 , 国产芯片制程或将一举迈入7nm市场 。
在高端光刻领域 , 中科院自研的首台高能光源设备已安装完成 , 结合清华大学的光源粒子加速器“稳态微聚束” , 或能一举解决被老美垄断的“光源技术系统” 。 而EUV设备的另外两项核心技术“双工件台系统”、“光学镜头” , 也被华卓精科和中科科美相继攻克 。
总体来看 , 不管是中低端或者高端 , 国产光刻技术已经实现了全线突破 , 全线量产也不会等太久 。
对此 , 外媒表示:ASML可惜了 。
ASML之所以在光刻市场有着举足轻重的地位 , 很大程度上是因为它在中高端光刻市场的垄断 。 不过 , 随着国产光刻机的量产 , ASML将不再具备唯一性 , 而且 , 它也将彻底失去中国市场 。
对于这样的结果 , ASML本来是有可能避免的 。 尤其是在老美芯片断供之后 , ASML曾先后五次示好我国市场 , 并且表示愿意提供设备支持帮我们加速完善半导体产业链 , 还会加大在中国市场的投资 。
虽然我们不会放弃对光刻技术的自研 , 但却并不排斥ASML , 反而是非常期待合作 , 因为ASML可以加速我国在光刻领域的发展 。 即便是国产光刻技术真的追平了ASML , 届时市场也必定会给它留一份满意的产能 。
但很可惜 , ASML在倾销给我们57台卖不出去的老旧光刻设备之后 , 就携带着在中国市场申请的3千项专利转头进驻了美半导体市场 , 还扬言要帮助老美完善高精度芯片产业链 。 对于正在爬坡阶段的中国半导体市场而言 , ASML的举动显然是无法接受的 。
至于老美能否掌握全球高精度芯片产业链 , 外界的看法几乎一致:它没有这个实力 , 也没有这个条件 。
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