光刻机|再见了,ASML?国产光刻机“破冰”关键一步( 二 )



光刻机制程时代的迈进是需要时间积累的 , 从光源区别来看 , 国产已经在DUV深紫外线领域取得不小的突破 , DUV对应KrF、ArF、ArFi三种光源 , 目前正处在全力攻克ArF , 再往下就是EUV极紫外光线 。
EUV光刻机造出的高端芯片并不能满足市面上所有需求 , 需求量更大的芯片往往是通过ArF光刻机造出来的 。 所以不用纠结距离EUV还有多远 , 先发展好当下 , 该有的迟早会有 。
再见了 , ASML?对于国产光刻机的发展状况 , ASML似乎有些坐立不安了 。 表示如果再不出货 , 多年后中国就会掌握这项技术 。 而且ASML也认为不能太绝对否定中国造不出顶级光刻机 , 物理规则在中国同样有效 。

就在6月上旬 , ASML进一步展开中国市场的布局动作 , 计划招聘200名中国员工 。
很显然 , ASML打算用时间优势快速建立起夯实的地位 , 加紧对大陆市场中低端光刻机的出货量 , 把能够出货的设备都安排上 。
可是这并没有阻止国产厂商对自主光刻机的研发 , 一旦国产28nm光刻机落地 , 并取得不输给ASML光刻机的性能水准 , 恐怕要说再见了 , ASML 。

写在最后ASML不能实现EUV光刻机的自由出货 , 只能靠销售中低端的DUV光刻机倾销市场 。 这类光刻机范畴当中 , 国产正在加紧自主化的步伐 。 启尔机电的浸液系统突破是非常关键的一步 , 让国产28nm光刻机的到来走向现实 。