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【5G|中国EUV光刻机市场的大门,正在向ASML关闭!】
ASML的成立的本身 , 其实就充满了目的性 , 就是老美联合一众西方资本抢占日本尼康的光刻机市场 , 从而垄断全球高端芯片制造行业 。 而凭借着多方的技术加持 , ASML成为光刻机金字塔最顶尖的企业 。 数据显示 , ASML占据了全球光刻机市场80%的份额 , 而在EUV市场更是占到了字面上的100% 。
不过 , 随着全球数字化的不断加速 , 物联网、智能汽车等领域对芯片需求大幅提升 , ASML虽然光刻机产能也在提升 , 但依然无法满足用户的需求 , 外加上《瓦尔森协议》 , 最先进的EUV光刻机不能自由出货 , 这给各国竞逐半导体制造产业链带来了许多变数 , 许多国家纷纷展开了对光刻机的研发 。
从目前的情况来看 , 对EUV光刻机展开深度研究的主要包括中国、俄罗斯还有日本 , 都制定了相关计划 。 值得注意的是 , 我国对光刻机的布局 , 除了许多中企之外 , 还有我国最高学术机构中科院的身影 。
在华为遭遇“断粮”后的第一时间 , 中科院就公开宣布 , 将会集全院力量攻克光刻机难题 。 我们要知道 , 在过去数十年的时间里 , 每当我们被“断粮”、遭遇技术封锁 , 国内科研团队总能给我们带来惊喜 , 比如高铁、量子通讯、无人机、特高压输电技术、航空航天等 。
而在光刻机领域 , 中科院也展开了紧锣密鼓的布局!根据中科院上海光机所公布的2022博士后招聘公告信息 , 从其中所招聘的多个岗位中我们可以发现 , 上海光机所招聘的人才主要涉及光刻机EUV光源的产生理论、技术研究 , 也就是说主要与EUV光源有关 。 上海光机所此举 , 其实具有非常明确的指向性 , 而且释放出了一种信号:中企正在关闭ASML的大门!为什么会这样说呢?
众所周知 , 光源、工件台、投影物镜三大件是光刻机的三个核心子系统 , 上海光机所并没有招聘工作台、投影物镜方面的工作人员 , 其实经常关注光刻机新闻的网友已经心知肚明 。
工件台方面 , 我国已经取得了重大突破 , 去年北京的华卓精科与清华团队推出的双工件台 , 不管是在生产还是技术方面 , 都完全实现了“国产化” , 而且该双工件台的精度为1.8nm , 高速运行状态下精度能达到2nm , 完全达到了ASML EUV光刻机对双工件台的要求 , 更是国产EUV光刻机的一块重要拼图 。
镜头方面 , 中科院的光学镀膜水平同样达到了世界领先水平 , 并且可以将光学镀膜的厚度降低到0.1nm以内 , 这对EUV光刻机镜头的制备起到了至关重要的作用 。
而如今中科院上海光交所将精力放在EUV光源方面 , 不难看出 , 这基本上已经是中国EUV光刻机最后的一张拼图了 。
光刻机被公认为是世界上最难制造的设备之一 , 一台设备重达十几吨 , 零部件10多万个 , 制造难度非常高 。 早期我国半导体企业相关团队到海外拜访时 , 海外专家听到我们的想法之后曾一度发出“嘲讽”的声音 , 表示“把全套图纸给中国都没办法造出来” 。 这句话真正伤到了我国科研人员的自尊心 , 但这或许并不是一件坏事 , 反而激发出了国内科研人员的斗志 。
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