第三 , 美企设备商也不愿意不仅如此 , ASML还大力推进下一代High NA EUV光刻机 , 目的就是推进原来EUV的出货 。 如今想要它限制DUV , 当然更不愿意了 。 不只ASML , 相关美企也不愿意 。
除了光刻机 , 其他的设备供应商主要还有美企应用材料、泛林集团等 , 他们都跟中芯国际、华虹半导体等有合作 , 目前他们已被禁止了一些先进设备等出货给中企 。
如果再限制DUV , 那么其他设备也就不需要了 , 这些美企损失更大 , 当然不愿意 。
不过 , 也不是完全不可能 , 因为“自损八百”的事他们之前也干过 , 为了阻挠我们的进步 , 他们说不定还真做得出来 。 不过 , 我们也不必担心 , 不让用正好不用它了 。
因为我们的光刻机快要突破了 , 这还正好促进我们的推广应用 , 说不定还是好事!尽管短期来看会有阵痛 , 但长期来看 , 我们正好可以摆脱对国外的光刻机依赖!
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