有必要补充的是 , 三星西安厂3D NAND产线 , 从2012年动土至今 , 连同晶圆厂、封测厂共计投资260亿美元 。 西安厂业已导入128层NAND量产 , 该厂产能占三星全球NAND产能的43% , 同时也占全球NAND产能的15% , 不仅以服务中国内地市场需求为优先 , 也将一部分出口海外市场 。 在2021年底从英特尔手中获得大连NAND晶圆厂的海力士 , 正试图扩大在NAND市场的版图 。
(二)
先前 , 美国只限制10nm及以下先进制程设备出售到中国大陆;如今 , 美国将限制范围扩大到14nm制程设备 。 不仅如此 , 美国还进一步扩大限制对象 , 即在中国大陆地区运营的其他芯片制造厂商 , 例如台积电和台联电等 , 也可能受到波及 。 而且 , 需要特别指出的是 , 虽然美国此次对14nm及以下先进制程设备进行限制 , 但仍然有可能会对成熟制程芯片的生产带来不利影响 。 因为 , 芯片制造厂商在转向更加复杂的工艺节点时 , 许多旧设备仍可继续使用;所以 , 美国限制中国大陆地区的芯片制造厂商获得新一代半导体设备 , 可能会对芯片制造产业带来长期连锁反应 。
美国半导体设备制造商LAM(泛林集团)和KLA(科磊)分别表示 , 已经收到美国商务部的通知 , 14nm及以下先进制程芯片设备将限制销往中国大陆 。 知情人士透露 , 近期 , 所有美国半导体设备厂商都已陆续收到美国商务部的通知 , 要求美国半导体设备厂商不得向中国大陆地区供应14nm及以下制程工艺设备 。
目前 , 半导体前道设备主要有光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入设备、化学机械研磨设备(CMP设备)、清洗设备、前道检测设备和氧化退火设备共八大类 。 前道设备用于晶圆制造 , 过程涵盖成百上千道工序 。 而前道设备市场主要由美欧日企业垄断 , 几家头部半导体设备大厂 , 即美国AMAT(应用材料)占比约17.0% , 荷兰ASML(阿斯麦)占比约16.6% , 日本TEL(东京电子)占比约12.5% , 美国LAM(泛林集团)占比约11.2% , 美国KLA(科磊)占比约6.3% , 合计占比近64% 。
事实上 , 美国三大半导体设备厂商AMAT、LAM、KLA在全球市场的存在感非常强 。 以市场调研机构Gartner提供的数据为例 , 2019年 , 光刻机市场主要由ASML一家垄断 , 占据83%的市场份额;涂胶显影/去胶设备市场主要由TEL一家垄断 , 占据91%的市场份额;热处理设备市场由AMAT、TEL和Kokusai三家垄断 , 市场份额占比分别为40%、20%和19%;刻蚀机市场主要由LAM、TEL和AMAT三家垄断 , 市场份额占比分别为45%、28%和18%;离子注入设备市场主要由AMAT、Axcelis和SMIT三家垄断 , 市场份额占比分别为60%、18%和17%;PVD市场主要由AMAT一家垄断 , 占据85%的市场份额;CVD市场主要由AMAT、LAM和TEL三家垄断 , 市场份额占比分别为30%、26%和17%;清洗设备市场主要由SCREEN、TEL和LAM三家垄断 , 市场份额占比分别为51%、27%和12%;CMP设备市场由AMAT和Ebara两家垄断 , 市场份额占比分别为66%和28%;流程控制设备市场主要由KLA、AMAT和Hitachi三家垄断 , 市场份额占比分别为54%、11%和9% 。
此外 , 近日还有传言 , 在过去几个月以来 , 美国正在评估对中国大陆实施新的出口限制——拟就用于芯片生产的EDA软件工具对中国大陆进行出口管制(使用环绕栅极GAA技术制造芯片所必需的软件工具) , 主要目的之一是阻碍中国大陆人工智能进步 。 如果传言属实 , 则意味着美国已经从半导体设备到EDA软件工具对中国大陆进行限制 。 知情人士透露 , 美国近几个月来一直在评估对中国大陆实施潜在出口限制 , 已选择责令美国商务部发布新的规定 , 将禁止用于生产人工智能AI芯片所需的EDA软件设计工具出口至中国大陆 。
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