EUV光掩膜/光掩膜坯检验设备 ，来自日本的Laserte，这是是全球唯一的EUV测试机制造商，占据全球市场100%的份额。 每台设备成本超过4000万美元，每台建造时间长达两年。

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EUV涂覆显影设备 ，提供商是日本的东京电子，全球唯一家，100%份额。EUV专用光刻胶，日富士胶片、日住友化学 等日本企业的全球份额高达90% 。

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EUV专用激光光源，由美国Cymer和日本Gigaphoton提供，是全球范围内能够为光刻机提供激光光源的2家厂商。EUV电子束掩膜设备，来自日本NuFlare，可发射26万束激光的“多光束”设备，2020年适配到EUV光刻机使用。
【 euv光刻机|日本科技公司在EUV光刻机领域依然是：扮猪吃老虎，低调得可怕】
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其实在整机方面，尼康和佳能，在EUV之前都是ASML的绝对竞争对手，尼康就量产并销售28NM光刻机，在EUV竞争上，落败于ASML，而佳能远在1970年就发售了首台半导体光刻机。

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