再说 , 还有替代EUV的技术在研发 , 比如NIL技术 , 因此留给ASML的时间不多了 。
对于ASML90台计划 , 外媒评价道 , 这相当于承认了 , 确实在争取EUV自由出货 。
【阿斯麦尔|90台EUV!ASML新计划出炉,外媒:意图很明显】即使如此 , EUV自由出货也是3年以后的事了 , 到时什么情况谁也说不准 。 因此 , 我们不必对此寄予希望 , 还是踏实进行EUV相关技术研发 , 争取早日实现国产EUV!
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