光刻机|日本设备堪比光刻机，一台机器价值10亿，被中国3家企业打破垄断

谈起最贵的高端机器是哪个，大家可能都会联想到荷兰ASML公司的光刻机，毕竟其代表着人类的顶尖科技水平，其内部不仅有超过8万个精细零件，而且还汇集了美国、德国、韩国和日本等国的高端技术，所以其价格也是贵的“离谱”。
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根据荷兰ASML公司公布的2019年财报计算，其在2019年出售了26台EUV光刻机，共为公司带来了31.43亿美元的营收，所以平均每台EUV光刻机的价格大概为1.2亿美元，约合人民币7.8亿元。不过即便如此，有一样机器的价格堪比光刻机，甚至还比其贵上一些，而这个机器就是“蒸镀机”。据了解，在2017年之时，日本Canon Tokki公司所产的蒸镀机的售价能达到1.4亿美元，约合人民币9.2亿元，但按照2017年的汇率来算的话，其价值已接近10亿元。
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当然这个机器之前只有日本的Canon Tokki公司能产，而且其一年的产量大概只有9台，几乎全被韩国的三星和LG公司买走了，所以蒸镀机的价值非常之高，几乎和今天的光刻机一样有价无市。蒸镀机有多重要？可能很多人对“蒸镀机”这个名字并不熟悉，但说起OLED屏幕相信就有很多人知道了，其实除了手机芯片以外的，又一个重要的组件。现在很多手机用的都是OLED屏幕，包括华为、三星和OPPO等。
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而蒸镀机正是制作OLED屏幕的关键设备，其在使用时需要将OLED材料蒸镀成膜，并做成发光器件。在这个过程中，“蒸”是最关键的，蒸镀机不仅要保持高真空度，而且还需要对位精度高和蒸发均匀。因此蒸镀机的制作工艺非常复杂，人们要想制作一台完美的蒸镀机是十分困难。所以蒸镀机也被称为屏幕界的“光刻机”。
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但是如此重要的蒸镀机，却一直被日本Canon Tokki公司所垄断。根据赛迪智库数据，截止2018年，OLED蒸馏设备的主要生产商是日本佳能Tokki，市场占有率达到了90?strong>。而且Canon Tokki公司所产的蒸镀机几乎被韩国三星、LG公司“包圆”，所以中国在OLED方面，也被外国卡住了脖子。不过这种情况以后不会再发生了，因为现在中国也可以生产了。中国企业打破蒸镀机技术垄断，而且还是三家令人高兴的是，我国目前不只一家企业攻克了蒸镀机的相关技术，而是三家。他们分别是合肥欣奕华公司、中山凯旋公司和合肥莱德公司。
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其中合肥欣奕华是最早宣布攻破蒸镀机技术的公司，它也是这三家公司中比较突出的存在。据了解，目前日本Canon Tokki公司所制作的蒸镀机之所以领先全球，就是因为其所控制的精度异常之高。他们的蒸镀机在把OLED有机发光材料蒸镀到基板上时，可以把误差控制在3um以内。而欣奕华团队所研制的蒸镀机对位系统，可以把对位精度控制在1.5um之内。除此之外，欣奕华还掌握了OLED蒸发源这个关键核心技术，并已经将其导入了量产线。
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根据欣奕华集团官网数据，其已经完成了蒸发速率稳定性控制、有机材料共蒸分子掺杂比例控制等技术的突破，而且欣奕华蒸镀机在长时间蒸发稳定性、蒸镀厚度均匀性、膜层分子结构稳定性等技术指标，已经与国际领先企业相当。当然除了欣奕华以外，中山凯旋与合肥莱德公司所产的蒸镀机，也有十分亮眼的表现，它们的关键技术指标也都达到了国际先进水平。