中科院上海光机所 ， 即上海光学精密机械研究所 ， 是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所 。 不只是这次有突破 ， 还有长春光机所 ， 之前都有过多次相关技术突破 。
之前中科院院长白春礼就表示 ， 要把美“卡脖子”清单变成科研任务来布局 ， 组织力量突破光刻机等关键的核心技术 。 从上海光机所的进展来看 ， 确实已经在布局突破了 。
值得一提的是 ， 我们也不是近两年才布局研发EUV相关技术 ， 而是早就进行布局 。

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之前 ， ASML曾放言 ， 即使给我们图纸 ， 我们也造不出光刻机 。 后来 ， 连ASML总裁也改口了 ， 表示我们会尝试突破 ， 不是完全没有可能 ， 继续围堵只会加速我们突破 。
其实 ， 国产EUV光刻机的拼图 ， 我们已经完成了不少 ， 相信一定会尽快完成拼图！

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