碳化硅|多领域布局,打破国外垄断,晶盛机电成就晶体制造技术专家!( 二 )


通过对比CZ直拉法生产单晶硅、泡生法生产蓝宝石、PVT法生长碳化硅等几种主流晶体生长方式,晶体生长的温度都达到了1400℃以上的高温,其中碳化硅和蓝宝石的生长过程都达到了2500℃高温。长晶炉加工制作工艺的精密要求高,要求反应室及炉体具有优异的密封性、耐高温和隔热性,致使长晶炉的结构和设计变得极其复杂,形成热场和良好有效的控温是长晶设备研发的难点之一。

碳化硅|多领域布局,打破国外垄断,晶盛机电成就晶体制造技术专家!
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晶体生长设备的核心在于工艺控制,核心部件包括自动控制系统、温度控制和热场等,技术有一定的共通性和延展性。公司在底层关键技术的领先奠定了其在更多晶体领域领先的基础,同时公司还延伸到切、磨、抛、外延等生长后处理阶段,成长为晶体制造一体化设备龙头;在掌握设备制造技术的基础上,延伸到下游材料领域,发展空间不断延展。(安信证券)
总结:近日公司宣布与应用材料合资成立子公司,再次表明公司持续打开多领域业务新格局,有望打造泛半导体产业链综合平台。
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