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在高精尖芯片领域 , EUV光刻机是不可或缺的核心制造设备 , 全球能生产该设备的只有荷兰巨头ASML 。 不过 , 后者的产线上却含有超过20%以上的美技术配件占比 , 在老美的干预下 , ASML始终无法向大陆市场出口 , 即便是国内企业在三年前就已经交付了一台EUV的货款 , 但至今也没能到货 。
很显然 , EUV光刻机成了我们芯片国产化道路上最大的藩篱 , 在无法进口的情况下 , 我们若想打破美芯的封锁 , 就必须要自己动手实现该设备的国产化 。 为此 , 中科院集结了全院优势科研力量 , 成立专项技术攻关小组 , 誓要在最短时间内打破技术壁垒 。
然而 , 对于我们自研芯片、自研光刻机 , 外界似乎并不看好 。 首先是台积电张忠谋 , 他表示全球没有任何一个国家或者地区能够建立完善的芯片体系 , 大陆应该专注芯片设计 , 芯片制造领域已经有台积电了 。
其次是ASML , 在国内科研团队就EUV技术赴荷兰“取经”之时 , ASML方面就公开嘲讽 , 即便是给中国设计图纸 , 你们也造不出来;另外 , 有国内专家表示 , EUV糅合了多国的顶尖技术、零件超过10万个 , 是全球智慧的结晶 , 仅凭我们一己之力很难完成 。
不可否认EUV光刻机的研发很难 , 但不管是张忠谋或者是ASML , 他们之所以给国内市场泼冷水 , 打击我们的研发积极性 , 很大原因是担心一旦我们实现自给自足 , 就会给台积电和ASML的行业主导权带来巨大的冲击 。
正如比亚迪王传福也曾说过:再尖端的技术设备也是人造的 , 而非神造的 。 果然 , 在举国上下的共同努力下 , 国内
反观ASML , 却彻底坐不住了 , 一方面是对老美发出警告 , 改口称如果不把光刻机卖给中国 , 那么他们将在五年内完全掌握该技术 , ASML或将因此而失去行业话语权;另一方面则是通过提升EUV产能和研发新型设备 , 来加快自由出货的进程 。
而在近日 , ASML再次传来消息 , 在外界看来 , 这相当于是摊牌了 。
在1月19日 , ASML公布了2021年的财报数据 , 数据显示 , ASML在2021年累计出货286台光刻机 , 总营收达到了186亿欧元 , 约合人民币1340亿 , 这其中有42台是EUV光刻机 , 占比约达14.6% , 但依然是供不应求 。 根据ASML制定的产能规划 , 将会在2025年把EUV的产能使用率提升至60%左右 。
而在新型EUV设备方面 , ASML已将首个TWUINSCAN EXE:5200EUV光刻机交付给了英特尔 , 其NA值达到了0.55 , 相比于传统EUV的0.33NA值 , 前者在性能上有了大幅提升 , 其工艺制程以及对高端芯片的制造良率都有着明显的提升 。
从ASML方面的这一系列布局看来 , 扩大产能不只是为了满足EUV光刻机水涨船高的市场需求 , 更是在新型EUV商用的情况下普及传统EUV设备 , 从而实现自由出货 , 毕竟后者将不再是最先进的技术 , 老美再去限制就失去了意义 。
更能证实这一猜想的是 , 在被问及中国是否能造出EUV设备之时 , ASML方面再次“改口” , 声称中国很难复制EUV技术 。 另外 , ASML还表示虽然暂时无法自由出货 , 但仍在努力 , 且持乐观态度 。
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