英特尔|ASML 公布最新业绩 ,并宣布交付首个 TWINSCAN EXE:5200光刻机( 二 )


“ASML 预计第一季度净销售额在 33 亿欧元至 35 亿欧元之间,毛利率约为 49%。ASML 预计研发成本约为 7.6 亿欧元,SG&A 成本约为 2.1 亿欧元。较低的净销售额指引第一季度是由于大量快速出货,这意味着从第一季度到后续季度的预期收入约为 20 亿欧元。纵观全年 —— 即使考虑到我们目前对快速出货相关收入的预期到 2023 年,六个 EUV 系统的转变 —— 我们预计收入增长约 20%,”ASML 总裁兼首席执行官 Peter Wennink 说。
产品和业务亮点

  • 在我们的 EUV 业务中,我们在第四季度收到了一份 TWINSCAN EXE:5000 的订单。我们在 2018 年已经收到了四份订单。
  • 2022 年初,我们收到了下一代 TWINSCAN EXE:5200 的第一份订单,这标志着我们在引入 0.55 NA EUV 的道路上又迈出了一步。
  • 在我们的 DUV 业务中,XT:860N 于 2021 年底交付给它的第一个客户。这个 KrF 系统提供了改进的性能和更低的每次曝光成本。
  • 2022 年,我们将通过引入 NXT:870 将 KrF 添加到 NXT 平台,使我们能够在该平台在 ArFi 和 ArF 干燥方面的现有经验的基础上,在生产力和拥有成本方面迈出重要一步。
  • 在我们的应用业务中,第一台专为大批量制造而设计的 eScan1100 多光束检测系统计划在未来几周内发货。与单电子束检测工具相比,我们预计 eScan1100 具有 25 束 (5x5) 可将吞吐量提高多达 15 倍,用于有针对性的在线缺陷检测应用。
英特尔|ASML 公布最新业绩 ,并宣布交付首个 TWINSCAN EXE:5200光刻机
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此外,官方还宣布英特尔首次订购了 ASML 的 TWINSCAN EXE:5200 系统,标志着 EUV 0.55 NA (High-NA) 引入的下一步,推动 High-NA 于 2025 年投产。
EUV 业务方面,公司在 2021 年第四季度收到了一份 TWINSCAN EXE:5000 订单(该设备在 2018 年已经收到了四份订单),2022 年初收到了下一代 TWINSCAN EXE:5200 的第一份订单,标志着 0.55 NA EUV 市场化进入下一阶段。
根据 ASML 同时发布的公告称,TWINSCAN EXE:5200 的第一份订单来自于英特尔,后者同样是首个下单 TWINSCAN EXE:5000 的客户,TWINSCAN EXE:5000 和 EXE:5200 均提供了 0.55 数值孔径,比前代 EUV 光刻机 0.33 数值孔径透镜的精度提高了,可以为更小的晶体管功能提供更高分辨率的模式。
EUV 0.55 NA 的设计旨在从 2025 年开始实现多个未来节点,这是业内首次部署,随后将采用类似密度的内存技术。在 2021 年的投资者日上,ASML 分享了其 EUV 路线图,并指出 High-NA 技术有望在 2025 年开始支持生产制造。
DUV 业务方面,XT:860N 已于 2021 年底交付给其第一个客户。这种 KrF 系统提供了更好的性能和更低的成本。2022 年,随着 NXT:870 的引入,公司将把 KrF 添加到 NXT 平台中,使其能够在生产率和拥有成本方面迈出重要的一步,并在 ArFi 和 ArFDry 中构建这个平台上的现有经验。
应用业务方面,首款 eScan1100 多束检测系统计划在未来几周内交付,该系统是专为大批量生产设计的。由于采用了 25 束(5x5),预计 eScan1100 与单一电子束检测工具相比,可增加 15 倍的吞吐量,用于目标在线缺陷检测应用。
此外,ASML 取消此前宣布的股票回购计划。根据此前公告,ASML 计划回购 90 亿欧元股票,于 2021 年 7 月 22 日启动,于 2023 年 12 月 31 日前执行,其中 45 万股将用于员工股份计划,2021 年第三季度购买了约 24 亿欧元的股票,第四季度购买了大约 25 亿欧元的股票,计划取消回购的剩余股份。