由于我们起步较晚 , 所以这个领域一度是被日韩企业垄断 , 比如说烧结大尺寸ITO靶材 , 需要有大型的烧结炉 。 国外可以做宽1200毫米、长近3000毫米的单块靶材 , 国内只能造不超过800毫米宽的 。
产出效率方面 , 日式装备月产量可达30吨至50吨 , 我们年产量只有30吨 , 而且进口高端靶材 , 价格也得“看人脸色” , 这与我国是铟资源大国、平板显示产业产能世界第一的地位极不相称 。
目前全球高端 ITO靶材供应商主要为:日本能源、东曹和三井矿业 。 国产化的难点在于 , 靶材成分的均匀化和高密度化 , 未实现根本性突破 , 总体的国产化率在35%左右 。 而ITO靶材有CF制程与 Array 制程 。 国产与进口的差距 , 主要是在密度和结瘤特性上 。
而如今 , 这些技术难点都得到了解决 。 就在前不久 , 郑州大学何季麟院士研发的“平板显示用、高性能ITO靶材、关键技术及工程化”项目 , 荣获国家技术发明奖二等奖 。 该项目突破了卡脖子关键技术 , 实现了从无到有、自主研发再到并跑超越 , 打破了国外技术封锁 , 凭借自主创新力量 , 实现了大尺寸ITO靶材 , 全流程制备的国产化 。
目前生产的ITO靶材 , 在国内首次成功应用于 , 京东方高世代TFT线 , 完成了进口替代 。
与此同时 , 以国内晶联光电、阿石创、广东先导、映日科技为主的国产ITO靶材厂商 , 在技术创新、认证壁垒等环节持续突破 , 现已打入国内龙头企业的供应链 。 市场份额也在逐步提升 。 另外在国家政策的扶持下 , 2019 年起从美国、日本进口的靶材 , 需要缴纳 5-8%关税 。 这有助于促进国内下游厂商 , 优先选择国产ITO靶材产品 。
何季麟院士团队的成功再次说明 , 要想解决卡脖子难题 , 只能靠自己 , 核心技术是求不来也买不来的 , 最后再次感谢何季麟院士团队 , 20多年的辛勤付出 , 没有你们 , 我们的国产平板显示厂商 , 只能继续看人脸色 , 忍受6倍多的垄断暴利价格此致敬礼 。
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